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1. WO2018072789 - TERAHERTZ-MESSGERÄT

Veröffentlichungsnummer WO/2018/072789
Veröffentlichungsdatum 26.04.2018
Internationales Aktenzeichen PCT/DE2017/100891
Internationales Anmeldedatum 17.10.2017
IPC
G01B 11/06 2006.1
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
BMessen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
02zum Messen der Länge, Breite oder Dicke
06zum Messen der Dicke
G01B 21/04 2006.1
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
BMessen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
21Messanordnungen oder Einzelheiten davon, soweit sie nicht für die in den anderen Gruppen dieser Unterklasse aufgeführten Messmittel besonders ausgebildet sind
02zum Messen der Länge, der Breite oder der Dicke
04zum Messen der Koordinaten von Punkten
G01S 17/08 2006.1
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
SFunkpeilung; Funknavigationssysteme; Bestimmen der Entfernung oder der Geschwindigkeit mittels Funkwellen; Orten oder Ermitteln der Anwesenheit mittels Reflexion oder Wiederausstrahlung von Funkwellen; vergleichbare Anordnungen mit anderen Wellen
17Systeme, bei denen die Reflexion oder Wiederausstrahlung elektromagnetischer Wellen außer Funkwellen verwendet werden, z.B. Lidarsysteme
02Systeme, bei denen die Reflexion elektromagnetischer Wellen außer Funkwellen ausgenutzt wird
06Systeme zur Bestimmung von Positionsdaten eines Ortungsobjektes
08ausschließlich zur Entfernungsmessung
G01N 21/3581 2014.1
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
NUntersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung von Submillimeter-Wellen, infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht
17Systeme, in denen einfallendes Licht durch die Eigenschaften des untersuchten Materials beeinflusst wird
25Farbe; Spektraleigenschaften, d.h. Vergleich der Materialeffekte bei Licht von zwei oder mehr Wellenlängen oder Wellenlängenbereichen
31Untersuchen relativer Materialeffekte bei Wellenlängen, die für spezifische Elemente oder Moleküle charakteristisch sind, z.B. Atomabsorptionsspektrometrie
35mit infrarotem Licht
3581unter Verwendung von fernem Infrarotlicht; unter Verwendung von Terahertz-Strahlung
CPC
G01B 11/06
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02for measuring length, width or thickness
06for measuring thickness ; ; e.g. of sheet material
G01B 21/047
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
21Measuring arrangements or details thereof in so far as they are not adapted to particular types of measuring means of the preceding groups
02for measuring length, width, or thickness
04by measuring coordinates of points
047Accessories, e.g. for positioning, for tool-setting, for measuring probes
G01N 21/3581
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
35using infra-red light
3581using far infra-red light; using Terahertz radiation
G01N 21/8901
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
89in moving material, e.g. running paper or textiles
8901Optical details; Scanning details
G01S 13/88
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
13Systems using the reflection or reradiation of radio waves, e.g. radar systems; Analogous systems using reflection or reradiation of waves whose nature or wavelength is irrelevant or unspecified
88Radar or analogous systems specially adapted for specific applications
Anmelder
  • INOEX GMBH INNOVATIONEN UND AUSRÜSTUNGEN FÜR DIE EXTRUSIONSTECHNIK [DE]/[DE]
Erfinder
  • KLOSE, Ralph
  • BÖHM, Roland
Vertreter
  • ADVOPAT PATENT- UND RECHTSANWÄLTE
Prioritätsdaten
10 2016 119 728.917.10.2016DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (de)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) TERAHERTZ-MESSGERÄT
(EN) TERAHERTZ MEASUREMENT DEVICE
(FR) APPAREIL DE MESURE TÉRAHERTZ
Zusammenfassung
(DE) Die Erfindung betrifft ein ΤΉz-Messgerät (1) zur Ermittlung mindestens einer Schichtdicke (a1, a2, a3, a4) eines Prüfobjektes (20, 120, 220), wobei das Messgerät (1) aufweist: eine THz-Sende- und Empfangseinheit (14) zum Aussenden von THz-Strahlung (15) entlang einer optischen Achse (A) und zum Empfangen reflektierter THz-Strahlung (16) entlang der optischen Achse (A), eine Steuereinheit (10) zur Ansteuerung der Sende- und Empfangseinheit (14). Hierbei ist das THz-Messgerät (1) vorzugsweise tragbar mit einem Griffbereich (34) zum Ergreifen und Positionieren durch den Benutzer aufweist, wobei es an einem vorderen Endbereich (5), insbesondere einer Formblende (5), eine Auflagekontur (7) mit mehreren Anlagepunkten (P, P1, P2, P3, P4) zur Anlage an einer gekrümmten Oberfläche (18) des Prüfobjektes (20, 120, 220) aufweist, zur senkrechten Positionierung an der Oberfläche (18, 118, 218).
(EN) The invention relates to a THz measurement device (1) for determining at least one layer thickness (a1, a2, a3, a4) of a test object (20, 120, 220), the measurement device (1) having: a THz transceiver unit (14) for emitting THz radiation (15) along an optical axis (A) and for receiving reflected THz radiation (16) along the optical axis (A); and a control unit (10) for activating the transceiver unit (14). The THz measurement device (1) is preferably portable with a grip region (34) for holding and positioning by a user. The device has, in a front end region (5), in particular in a moulded screen (5), a contact contour (7) with multiple contact points (P, P1, P2, P3, P4) for placement on a curved surface (18) of the test object (20, 120, 220), for vertical positioning on the surface (18, 118, 218).
(FR) L'invention concerne un appareil de mesure térahertz (1) servant à déterminer au moins une épaisseur de couche (a1, a2, a3, a4) d'un objet à tester (20, 120, 220), l'appareil de mesure (1) comprenant : une unité d'émission et de réception THz (14) servant à émettre un rayonnement THz (15) le long d'un axe optique (A) et à recevoir un rayonnement THz (16) réfléchi le long de l'axe optique (A), et une unité de commande (10) servant à commander l'unité d'émission et de réception (14). L'appareil de mesure THz (1) peut de préférence être porté à l'aide d'une zone de préhension (34) destinée à être saisie et positionnée par l'utilisateur, l'appareil de mesure THz comprenant un contour d'appui (7) doté de plusieurs points d'appui (P, P1, P2, P3, P4) servant à l'appui sur une surface (18) courbe de l'objet à tester (20, 120, 220) au niveau d'une zone d'extrémité (5) avant, en particulier d'un panneau moulé (5), lequel contour d'appui est destiné à être positionné perpendiculairement sur la surface (18, 118, 218).
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