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1. (WO2018066844) ALLOY METAL FOIL TO BE USED AS DEPOSITION MASK, DEPOSITION MASK, MANUFACTURING METHODS THEREFOR, AND ORGANIC LIGHT EMITTING DEVICE MANUFACTURING METHOD USING SAME
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Veröff.-Nr.: WO/2018/066844 Internationale Anmeldenummer PCT/KR2017/010382
Veröffentlichungsdatum: 12.04.2018 Internationales Anmeldedatum: 21.09.2017
IPC:
C23F 1/02 (2006.01) ,C23F 1/44 (2006.01) ,C25D 1/10 (2006.01) ,B21B 1/40 (2006.01) ,C22C 38/08 (2006.01) ,C23C 14/04 (2006.01) ,H01L 51/00 (2006.01) ,H01L 51/56 (2006.01)
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
F
Nichtmechanisches Entfernen metallischer Stoffe von Oberflächen; Verhinderung von Korrosion von metallischem Material; Verhinderung von Verkrustungen im Allgemeinen; Mehrstufenverfahren zur Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe unter Einbeziehung mindestens eines der in Klasse C23 vorgesehenen Verfahren und mindestens eines der von den Unterklassen C21D oder C22F oder der Klasse C25320
1
Ätzen metallischer Werkstoffe mit chemischen Mitteln
02
Partielles Ätzen
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
F
Nichtmechanisches Entfernen metallischer Stoffe von Oberflächen; Verhinderung von Korrosion von metallischem Material; Verhinderung von Verkrustungen im Allgemeinen; Mehrstufenverfahren zur Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe unter Einbeziehung mindestens eines der in Klasse C23 vorgesehenen Verfahren und mindestens eines der von den Unterklassen C21D oder C22F oder der Klasse C25320
1
Ätzen metallischer Werkstoffe mit chemischen Mitteln
44
Zusammensetzungen zum Abätzen metallischer Stoffe von anders zusammengesetzten metallischen Stoffen
C Chemie; Hüttenwesen
25
Elektrolytische oder elektrophoretische Verfahren; Vorrichtungen dafür
D
Verfahren für die elektrolytische oder elektrophoretische Herstellung von Überzügen; Galvanoplastik; Verbinden von Werkstücken durch Elektrolyse; Vorrichtungen dafür
1
Galvanoplastik
10
Formen; Masken; Matrizen
B Arbeitsverfahren; Transportieren
21
Mechanische Metallbearbeitung ohne wesentliches Zerspanen des Werkstoffs; Stanzen von Metall
B
Walzen von Metall
1
Metallwalzverfahren oder -werke zum Herstellen von Halbzeug oder Profilen; Arbeitsfolgen in Walzstraßen; Anlage von Walzwerken, z.B. Anordnung der Gerüste; Stichfolgen oder abwechselnde Aufeinanderfolge von Profilkalibern
40
für das Walzen von Folien, bei denen besondere Probleme auftreten, z.B. wegen geringer Dicke
C Chemie; Hüttenwesen
22
Metallhüttenwesen; Eisen- oder Nichteisenlegierungen; Behandlung von Legierungen oder von Nichteisenmetallen
C
Legierungen
38
Eisenlegierungen, z.B. Stahl-Legierungen
08
mit Nickel
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
14
Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
04
Beschichten ausgewählter Oberflächenbereiche, z.B. unter Verwendung von Masken
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
51
Festkörperbauelemente, die organische Materialien oder eine Kombination von organischen mit anderen Materialien als aktives Medium aufweisen; Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von derartigen Bauelementen oder Teilen davon
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
51
Festkörperbauelemente, die organische Materialien oder eine Kombination von organischen mit anderen Materialien als aktives Medium aufweisen; Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von derartigen Bauelementen oder Teilen davon
50
besonders ausgebildet zur Lichtemission, z.B. organische lichtemittierende Dioden (OLED) oder polymere lichtemittierende Bauelemente (PLED)
56
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von derartigen Bauelementen oder Teilen davon
Anmelder:
주식회사 포스코 POSCO [KR/KR]; 경상북도 포항시 남구 동해안로 6261 (괴동동) (Goedong-dong) 6261, Donghaean-ro, Nam-gu Pohang-si, Gyeongsangbuk-do 37859, KR
Erfinder:
정관호 JUNG, Gwan-Ho; KR
양홍석 YANG, Hong-Seok; KR
이재곤 LEE, Jae-Kon; KR
김현태 KIM, Hyun-Tae; KR
김기수 KIM, Ki-Soo; KR
Vertreter:
특허법인 씨엔에스 C&S PATENT AND LAW OFFICE; 서울시 강남구 언주로 30길 13, 대림아크로텔 7층 7th Floor, Daelim Acrotel 13, Eonju-ro 30-gil Gangnam-gu, Seoul 06292, KR
Prioritätsdaten:
10-2016-012926506.10.2016KR
Titel (EN) ALLOY METAL FOIL TO BE USED AS DEPOSITION MASK, DEPOSITION MASK, MANUFACTURING METHODS THEREFOR, AND ORGANIC LIGHT EMITTING DEVICE MANUFACTURING METHOD USING SAME
(FR) FEUILLE MÉTALLIQUE D'ALLIAGE À UTILISER EN TANT QUE MASQUE DE DÉPÔT, MASQUE DE DÉPÔT, PROCÉDÉS DE FABRICATION ASSOCIÉS, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTROLUMINESCENT ORGANIQUE UTILISANT LEDIT MASQUE DE DÉPÔT
(KO) 증착용 마스크로 사용되는 합금 금속박, 증착용 마스크 및 이들의 제조방법과 이를 이용한 유기 발광 소자 제조방법
Zusammenfassung:
(EN) The present invention relates to: a deposition mask having a plurality of fine through-holes formed on a metal foil; a metal foil to be used therein; manufacturing methods therefor; and an organic EL device manufacturing method using the deposition mask, and provides an Fe-Ni alloy metal foil to be used as a deposition mask, comprising 34-46 wt% of Ni and the balance of Fe and inevitable impurities, wherein the metal foil comprises a pattern formation area and an uncoated area on at least one surface thereof, the pattern formation area is thinner than the uncoated area and has low surface roughness, and the uncoated area is positioned at the edge of the metal foil so as to surround the pattern formation area.
(FR) La présente invention concerne : un masque de dépôt possédant une pluralité de trous traversants fins formés sur une feuille métallique ; une feuille métallique à utiliser dans ledit masque de dépôt ; des procédés de fabrication associés ; et un procédé de fabrication de dispositif électroluminescent organique utilisant le masque de dépôt, et fournissant une feuille métallique d'alliage Fe-Ni à utiliser en tant que masque de dépôt, comprenant de 34 à 46 % en poids de Ni et le reste étant du Fe et des impuretés inévitables, la feuille métallique comprenant une zone de formation de motif et une zone non revêtue sur au moins une de ses surfaces, la zone de formation de motif étant plus mince que la zone non revêtue et possédant une faible rugosité de surface, et la zone non revêtue étant positionnée au bord de la feuille métallique de façon à entourer la zone de formation de motif.
(KO) 본 발명은 금속박에 복수개의 미세한 관통 홀을 형성한 증착용 마스크, 이에 사용되는 금속박 및 그 제조방법, 그리고, 상기 증착용 마스크를 사용하여 유기 EL 소자를 제조하는 방법에 관한 것으로서, Ni: 34~46중량%와 잔부 Fe 및 불가피 불순물을 포함하는 증착용 마스크로 사용되는 Fe-Ni 합금 금속박으로서, 상기 금속박은 적어도 일면에 패턴 형성 영역과 무지 영역을 포함하되, 상기 패턴 형성 영역은 상기 무지 영역에 비하여 두께가 얇고, 표면조도가 작으며, 상기 무지 영역은 상기 금속박의 가장자리에 위치하여 패턴 형성 영역을 포위하는 것인 증착용 마스크로 사용되는 Fe-Ni 합금 금속박을 제공한다.
front page image
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Koreanisch (KO)
Anmeldesprache: Koreanisch (KO)