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1. (WO2018063625) DIRECT FOCUSING WITH IMAGE BINNING IN METROLOGY TOOLS
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Veröff.-Nr.: WO/2018/063625 Internationale Anmeldenummer PCT/US2017/048746
Veröffentlichungsdatum: 05.04.2018 Internationales Anmeldedatum: 25.08.2017
IPC:
G06T 7/00 (2006.01) ,G02B 21/36 (2006.01) ,G02B 21/24 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
G Physik
06
Datenverarbeitung; Rechnen; Zählen
T
Bilddatenverarbeitung oder Bilddatenerzeugung allgemein
7
Bildanalyse, z.B. um von einem bitweise organisierten Bild zu einem nicht bitweise organisierten Bild zu gelangen
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
21
Mikroskope
36
für fotografische oder Projektionszwecke
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
21
Mikroskope
24
Grundlegender Aufbau
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7
Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20
Belichten; Vorrichtungen dafür
Anmelder:
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Erfinder:
GUTMAN, Nadav; IL
GOLOVANEVSKY, Boris; IL
GLUZER, Noam; IL
Vertreter:
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M. N.; US
Prioritätsdaten:
62/400,96628.09.2016US
Titel (EN) DIRECT FOCUSING WITH IMAGE BINNING IN METROLOGY TOOLS
(FR) FOCALISATION DIRECTE AVEC COMPARTIMENTAGE D'IMAGE DANS DES OUTILS DE MÉTROLOGIE
Zusammenfassung:
(EN) Focusing methods and modules are provided for metrology tools and systems. Methods comprise capturing image(s) of at least two layers of a ROI in an imaging target, binning the captured image(s), deriving a focus shift from the binned captured image(s) by comparing the layers, and calculating a focus position from the derived focus shift. Disclosed methods are direct, may be carried out in parallel to a part of the overlay measurement process and provide fast and simple focus measurements that improve metrology performance.
(FR) La présente invention concerne des procédés et des modules de focalisation pour des outils et des systèmes de métrologie. Les procédés comprennent la capture d'une ou de plusieurs images d'au moins deux couches d'une région d'intérêt dans une cible d'imagerie, le compartimentage de l'image ou des images capturées, l'obtention d'un décalage de foyer à partir de l'image ou des images capturées compartimentées en comparant les couches, et le calcul d'une position de foyer à partir du décalage de foyer obtenu. Les procédés selon l'invention sont directs, peuvent être réalisés en parallèle à une partie du processus de mesure de superposition et fournissent des mesures de foyer rapides et simples qui améliorent les performances de métrologie.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Englisch (EN)
Anmeldesprache: Englisch (EN)