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1. (WO2018060086) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BEARBEITUNG EINER SCHICHT

Pub. No.:    WO/2018/060086    International Application No.:    PCT/EP2017/074052
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Sep 23 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/20
Applicants: LIMO GMBH
Inventors: HARTEN, Paul Alexander
Title: VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BEARBEITUNG EINER SCHICHT
Abstract:
Verfahren zur Bearbeitung einer Schicht, insbesondere einer Schicht auf einem Substrat, umfassend folgende Verfahrensschritte: Mit mindestens einem ersten Halbleiterlaser wird eine erste Laserstrahlung erzeugt, die eine erste Wellenlänge aufweist, mit mindestens einem zweiten Halbleiterlaser wird eine zweite Laserstrahlung erzeugt, die eine zweite, von der ersten Wellenlänge verschiedene, Wellenlänge aufweist, die Schicht wird mit den Laserstrahlungen beaufschlagt, wobei die Laserstrahlungen auf der Schicht überlagert werden und/oder zeitlich nacheinander auf Bereiche der Schicht auftreffen, und wobei die Differenz zwischen der ersten Wellenlänge und der zweiten Wellenlänge mindestens 100 nm groß ist.