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1. (WO2018054895) OPTISCHE UNTERSUCHUNGSEINRICHTUNG UND OPTISCHES UNTERSUCHUNGSVERFAHREN MIT SICHTBAREM UND INFRAROTEM LICHT FÜR HALBLEITERBAUTEILE

Pub. No.:    WO/2018/054895    International Application No.:    PCT/EP2017/073619
Publication Date: Fri Mar 30 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Sep 20 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01N 21/95
Applicants: MUEHLBAUER GMBH & CO. KG
Inventors: PRAKAPENKA, Uladimir
SPICHTINGER, Stephan
MIEHLICH, Rainer
Title: OPTISCHE UNTERSUCHUNGSEINRICHTUNG UND OPTISCHES UNTERSUCHUNGSVERFAHREN MIT SICHTBAREM UND INFRAROTEM LICHT FÜR HALBLEITERBAUTEILE
Abstract:
Eine optische Untersuchungseinrichtung (200) ist geeignet und bestimmt zur Erfassung von Eigenschaften eines Halbleiterbauteils (2). Sie umfasst eine erste Beleuchtungsanordnung (4, 6), eine zweite Beleuchtungsanordnung (8, 10)und eine bildgebende Vorrichtung (12, 14), wobei die erste Beleuchtungsanordnung infrarotes Licht auf eine der bildgebenden Vorrichtung (Kamera) abgewandte erste Oberfläche des Halbleiterbauteils emittiert. Das infrarote Licht durchdringt zumindest anteilig das Halbleiterbauteil vollständig. Die zweite Beleuchtungsanordnung emittiert sichtbares Licht auf eine der bildgebenden Vorrichtung zugewandte zweite Oberfläche des Halbleiterbauteils. Die bildgebende Vorrichtung ist dazu ausgebildet und angeordnet, sowohl das von der ersten und zweiten Beleuchtungsanordnung emittierte Lichtspektrum zu erfassen, und einer nachgeordneten Bildauswertung auf Grundlage sowohl des sichtbaren als auch des infraroten Lichtspektrums einen separaten Bildeinzug zur Ermittlung von Eigenschaftsfehlern oder Beschädigungen des Halbleiterbauteils bereitzustellen.