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1. (WO2018054405) SCHNELLE STRAHLVERMESSUNG IN MEHREREN EBENEN

Pub. No.:    WO/2018/054405    International Application No.:    PCT/DE2017/000308
Publication Date: Fri Mar 30 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Sep 21 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01J 1/42
B23K 26/70
Applicants: PRIMES GmbH Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung
Inventors: KRAMER, Reinhard
MÄRTEN, Otto
WOLF, Stefan
KOGLBAUER, Andreas
Title: SCHNELLE STRAHLVERMESSUNG IN MEHREREN EBENEN
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur direkten Bestimmung von räumlichen Abmessungen eines Lichtstrahls mit hoher Genauigkeit und kurzer Messdauer, die auch zur Vermessung von Laserstrahlen mit hoher Leistung im Bereich des Strahlfokus geeignet sind. Dazu wird eine Vorrichtung vorgeschlagen, die einen Strahl-Abtaster (20), mindestens einen Lichtsensor (60), eine Bewegungseinrichtung (50) zur Ausführung einer Relativbewegung zwischen dem Lichtstrahl (10) und dem Strahl-Abtaster (20), und eine Einrichtung (64) zur Signalaufzeichnung eines zeitlich veränderlichen Signals vom Lichtsensor (60) beinhaltet. Der Strahl-Abtaster (20) umfasst mindestens einen Abtastkörper (21) mit mindestens drei Sonden-Bereichen (22), die entlang von Sonden-Linien ausgedehnt sind. Die Sonden-Bereiche (22) sind ausgebildet zur Entnahme von linienförmigen oder streifenförmigen Licht-Proben aus einem Querschnitt (14) des Lichtstrahls (10). Mehrere Abtastflächen (25) sind definiert durch die Sonden-Linien der Sonden- Bereiche (22) jeweils aufgespannt mit einem Bewegungsvektor (55) der Relativbewegung. Dabei weisen mindestens drei Abtastflächen (25) in Richtung der Achse des Lichtstrahls einen von Null verschiedenen Abstand zueinander auf. Der Lichtsensor (60) ist ausgebildet zur Erfassung mindestens eines Teils des Proben- Lichts der von den Sonden-Bereichen (22) entnommenen Licht-Probe aus dem Querschnitt (14) des Lichtstrahls (10).