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1. (WO2018046597) VORRICHTUNG ZUR ÜBERTRAGUNG VON ELEKTRISCHEN SIGNALEN SOWIE LITHOGRAPHIEANLAGE
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Veröff.-Nr.: WO/2018/046597 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2017/072460
Veröffentlichungsdatum: 15.03.2018 Internationales Anmeldedatum: 07.09.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7
Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20
Belichten; Vorrichtungen dafür
Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH[DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE
Erfinder: HORN, Jan; DE
BLEIDISTEL, Sascha; DE
BART, Florian; DE
HAUF, Markus; DE
Vertreter: HORN KLEIMANN WAITZHOFER PATENTANWÄLTE PARTG MBB; Ganghoferstr. 29a 80339 München, DE
Prioritätsdaten:
10 2016 217 285.912.09.2016DE
Titel (EN) DEVICE FOR TRANSMITTING ELECTRICAL SIGNALS, AND LITHOGRAPHY SYSTEM
(FR) DISPOSITIF DE TRANSMISSION DE SIGNAUX ÉLECTRIQUES ET INSTALLATION DE LITHOGRAPHIE
(DE) VORRICHTUNG ZUR ÜBERTRAGUNG VON ELEKTRISCHEN SIGNALEN SOWIE LITHOGRAPHIEANLAGE
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a device (1) for transmitting electrical signals between a first interface element (11), arranged at a first structure (10) of a lithography system (100), and a second interface element (21), arranged at a second structure (20) of the lithography system (100), an electrical conductor (30) connecting the first interface element (11) and the second interface element (21). The device further has a hollow body (40) which surrounds at least sections of the electrical conductor (30) and which is designed for the electromagnetic shielding of the electrical conductor (30). A gap (43) is provided in the hollow body (40) or between the hollow body (40) and one of the structures (10, 20) and allows a relative movement of the first structure (10) and the second structure (20) to mechanically decouple the first structure (10) from the second structure (20).
(FR) L'invention concerne un dispositif (1) de transmission de signaux électriques entre un premier élément d'interface (11) qui est agencé sur une première structure (10) d'une installation de lithographie (100) et un second élément d'interface (21) qui est agencé sur une seconde structure (20) de l'installation de lithographie (100). Un conducteur électrique (30) relie le premier élément d'interface (11) et le second élément d'interface (21) et un corps creux (40) entoure au moins par endroits le conducteur électrique (30) pour le blindage électromagnétique du conducteur électrique (30). Une fente (43) ménagée dans le corps creux (40) ou entre le corps creux (40) et une des structures (10, 20) permet un mouvement relatif de la première structure (10) et de la seconde structure (20) pour désolidariser mécaniquement la première structure (10) de la seconde structure (20).
(DE) Vorrichtung (1) zur Übertragung von elektrischen Signalen zwischen einem ersten Schnittstellenelement (11), das an einer ersten Struktur (10) einer Lithographieanlage (100) angeordnet ist, und einem zweiten Schnittstellenelement (21), das an einer zweiten Struktur (20) der Lithographieanlage (100) angeordnet ist, wobei ein elektrischer Leiter (30) das erste Schnittstellenelement (11) und das zweite Schnittstellenelement (21) verbindet und ein den elektrischen Leiter (30) zumindest abschnittsweise umgebender Hohlkörper (40) zur elektromagnetischen Abschirmung des elektrischen Leiters (30) vorgesehen ist, wobei ein Spalt (43) in dem Hohlkörper (40) oder zwischen dem Hohlkörper (40) und einer der Strukturen (10, 20) vorgesehen ist, welcher eine Relativbewegung der ersten Struktur (10) und der zweiten Struktur (20) zur mechanischen Entkopplung der ersten Struktur (10) von der zweiten Struktur (20) zulässt.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)