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1. (WO2018046479) VIBRATIONSPOLIERGERÄT

Pub. No.:    WO/2018/046479    International Application No.:    PCT/EP2017/072198
Publication Date: Fri Mar 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Sep 06 01:59:59 CEST 2017
IPC: B24B 31/06
B24B 37/10
Applicants: ATM GMBH
Inventors: KLEY, Michael
HÖFER, Matthias
Title: VIBRATIONSPOLIERGERÄT
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Vibrationspoliergerät umfassend: einen Vibrationsantrieb (1) zur Erzeugung einer oszillierenden Schwingung zum Polieren von Proben, einen Polierteller (2), der mit dem Vibrationsantrieb (1) verbunden ist und von diesem antreibbar ist, und eine Polierwanne (3), die zur Aufnahme eines Poliermediums sowie der zu polierenden Proben ausgebildet ist und mit dem Polierteller (2) zur Mitnahme gekoppelt ist, wobei die Verbindung zwischen der Polierwanne (3) und dem Polierteller (2) über eine Schnellkupplung erfolgt, um im Betrieb des Vibrationsgerätes die oszillierenden Schwingungen von dem Polierteller (2) auf die Polierwanne (3) zu übertragen und damit die zu polierende Probe (8) auf in der Polierwanne (3) zu bewegen.