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1. (WO2018046374) MIKROSPIEGELVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER MIKROSPIEGELVORRICHTUNG
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten    Einwendung einreichen

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2018/046374    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2017/071779
Veröffentlichungsdatum: 15.03.2018 Internationales Anmeldedatum: 30.08.2017
IPC:
G02B 26/08 (2006.01)
Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE)
Erfinder: MUCHOW, Joerg; (DE).
SCHATZ, Frank; (DE).
GRUTZECK, Helmut; (DE)
Prioritätsdaten:
10 2016 216 938.6 07.09.2016 DE
Titel (DE) MIKROSPIEGELVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER MIKROSPIEGELVORRICHTUNG
(EN) MICROMIRROR DEVICE AND METHOD FOR OPERATING A MICROMIRROR DEVICE
(FR) DISPOSITIF À MICRO-MIROIR ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D’UN DISPOSITIF À MICRO-MIROIR
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Mikrospiegelvorrichtung (1), mit einem Substrat (2) und einer äußeren Rahmeneinrichtung (3), welche mittels einer ersten Aufhängeeinrichtung (6a, 6b) entlang einer ersten Schwingachse (AI) mit dem Substrat (2) verbunden ist und um die erste Schwingachse (AI) herum auslenkbar ist. Weiter umfasst die Mikrospiegelvorrichtung (1) eine innere Rahmeneinrichtung (5), welche mittels einer zweiten Aufhängeeinrichtung (7a, 7b) entlang der ersten Schwingachse (A 1) mit der äußeren Rahmeneinrichtung (3) verbunden ist, und eine Schwingplatte (4) mit einem Mikrospiegel, welche mittels einer dritten Aufhängeeinrichtung (8a, 8b) entlang einer zweiten Schwingachse (A2) mit der inneren Rahmeneinrichtung (5) verbunden ist, wobei die erste Schwingachse (AI) senkrecht zu der zweiten Schwingachse (A2) steht. Die innere Rahmeneinrichtung (5) weist auslenkbare Auslenkelemente (91 bis 94) auf, wobei die Schwingplatte (4) durch eine Auslenkung der Auslenkelemente (91 bis 94) relativ zu der äußeren Rahmeneinrichtung (3) auslenkbar ist.
(EN)The invention relates to a micromirror device (1) comprising a substrate (2) and an outer frame element (3), which is connected to the substrate (2) along a first oscillating axis (A1) by means of a first suspension device (6a, 6b) and can be deflected about the first oscillating axis (A1). The micromirror device (1) also comprises an inner frame element (5) which is connected to the outer frame element (3) along the first oscillating axis (A1) by means of a second suspension device (7a, 7b), and an oscillating plate (4) with a micromirror, which is connected to the inner frame element (5) along a second oscillating axis (A2) by means of a third suspension device (8a, 8b), the first oscillating axis (A1) being perpendicular to the second oscillating axis (A2). The inner frame device (5) comprises bendable deflection elements (91 to 94), the oscillating plate (4) being deflectable in relation to the outer frame element (3) by bending the deflection elements (91 to 94).
(FR)L’invention concerne un dispositif à micro-miroir (1) comprenant un substrat (2) et un moyen formant cadre extérieur (3) relié au substrat (2) à l’aide d’un premier moyen de suspension (6a, 6b) le long d’un premier axe de pivotement (AI) et pouvant être dévié autour du premier axe de pivotement (AI). En outre, le dispositif à micro-miroir (1) comprend un moyen formant de cadre intérieur (5) relié au moyen formant cadre extérieur (3) à l’aide d’un deuxième moyen de suspension (7a, 7b) le long du premier axe de pivotement (A 1) et une plaque pivotante munie d’un micro-miroir et reliée au moyen formant cadre intérieur (5) à l’aide d’un troisième moyen de suspension (8a, 8b) le long d’un deuxième axe de pivotement (A2). Le premier axe de pivotement (AI) est perpendiculaire au deuxième axe de pivotement (A2). Le moyen formant cadre intérieur (5) comporte des éléments de déviation (91 à 94) pouvant être déviés. La plaque pivotante (4) est déviée par déviation des éléments de déviation (91 à 94) par rapport au moyen formant cadre extérieur (3).
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)