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1. (WO2018041498) MIKROMECHANISCHES BAUTEIL MIT ZWEI MEMBRANEN UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL MIT ZWEI MEMBRANEN
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Veröff.-Nr.: WO/2018/041498 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2017/069265
Veröffentlichungsdatum: 08.03.2018 Internationales Anmeldedatum: 31.07.2017
IPC:
B81B 3/00 (2006.01) ,G01L 9/00 (2006.01)
B Arbeitsverfahren; Transportieren
81
Mikrostrukturtechnik
B
Mikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente
3
Bauelemente mit flexiblen oder verformbaren Bestandteilen, z.B. mit elastischen Zungen oder Membranen
G Physik
01
Messen; Prüfen
L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9
Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
Anmelder:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Erfinder:
REINMUTH, Jochen; DE
JAEGER, Stefan Thomas; DE
GRUTZECK, Helmut; DE
Prioritätsdaten:
10 2016 216 234.929.08.2016DE
Titel (EN) MICROMECHANICAL COMPONENT COMPRISING TWO MEMBRANES AND METHOD FOR PRODUCING A MICROMECHANICAL COMPONENT WITH TWO MEMBRANES
(FR) COMPOSANT MICROMÉCANIQUE À DEUX MEMBRANES ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D’UN COMPOSANT MICROMÉCANIQUE À DEUX MEMBRANES
(DE) MIKROMECHANISCHES BAUTEIL MIT ZWEI MEMBRANEN UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL MIT ZWEI MEMBRANEN
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a micromechanical component comprising a carrier structure (10) with at least two membranes (12), said at least two membranes (12) being arranged in a plane extending in a first spatial direction (x) and in a second spatial direction (y) perpendicular to the first spatial direction (x) in the event of equal pressure on a first side (10a) of the carrier structure (10) and a second side (10b) of the carrier structure (10) which faces away from the first side (10a), and being able to bulge as a result of a pressure difference, and at least one actuator electrode (18) that can be moved by means of a bulging of the at least two membranes out of the respective starting position thereof, where each of the at least two membranes (12) is embodied with a same first stretch (a1) in the first spatial direction (x) and a same second stretch (a2) in the second spatial direction (y), the first stretch (a1) being larger than the second stretch (a2) by at least one factor of 25. The invention also relates to a method for producing a micromechanical component.
(FR) L’invention concerne un composant micromécanique comportant une structure de support (10) pourvue d’au moins deux membranes (12), les au moins deux membranes (12) étant situées, en cas d’égalité de pression sur un premier côté (10a) de la structure de support (10) et sur un second côté (10b) de la structure de support (10), opposé au premier côté (10a), dans un plan formé par une première direction spatiale (x) et une seconde direction spatiale (y) perpendiculaire à la première direction spatiale (x) et pouvant être bombées par une différence de pression, et au moins une électrode d’actionneur (18) qui peut être déplacée à partir de sa position initiale respective au moyen d’un bombement des au moins deux membranes (12), chacune des au moins deux membranes (12) étant formée avec une même première étendue (a1) dans la première direction spatiale (x) et une même seconde étendue (a2) dans la seconde direction spatiale (y), la première étendue (a1) étant au moins 1,25 fois plus grande que la seconde étendue (a2). L’invention concerne également un procédé de fabrication d’un composant micromécanique.
(DE) Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einer Trägerstruktur (10) mit mindestens zwei Membranen (12), wobei die mindestens zwei Membranen (12) bei einer Druckgleichheit aufeiner ersten Seite (10a) der Trägerstruktur (10) und einer von der ersten Seite (10a) weg gerichteten zweiten Seite (10b)der Trägerstruktur(10) in einer von einer ersten Raumrichtung (x) und einer senkrecht zu der ersten Raumrichtung (x) ausgerichteten zweiten Raumrichtung (y) aufgespannten Ebene vorliegen und mittels eines Druckunterschieds verwölbbar sind, und mindestenseiner Aktorelektrode (18), welche mittels einer Verwölbung der mindestens zwei Membranen (12) aus ihrer jeweiligen Ausgangsstellung verstellbar ist, wobei jede der mindestens zwei Membranen (12) mit einer gleichen ersten Ausdehnung (a1) in der ersten Raumrichtung (x) und einer gleichen zweiten Ausdehnung (a2) in der zweiten Raumrichtung (y) ausgebildet ist, wobei die erste Ausdehnung (a1) um zumindest einen Faktor von 1,25 größer als die zweite Ausdehnung (a2) ist. Ebenso betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)