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1. (WO2018039255) INFRARED CHARACTERIZATION OF A SAMPLE USING OSCILLATING MODE
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Veröff.-Nr.: WO/2018/039255 Internationale Anmeldenummer PCT/US2017/048049
Veröffentlichungsdatum: 01.03.2018 Internationales Anmeldedatum: 22.08.2017
IPC:
G01N 21/35 (2006.01) ,G01N 21/33 (2006.01) ,G01Q 60/24 (2010.01) ,G01N 29/12 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21
Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
17
Systeme, in denen einfallendes Licht durch die Eigenschaften des untersuchten Materials beeinflusst wird
25
Farbe; Spektraleigenschaften, d.h. Vergleich der Materialeffekte bei Licht von zwei oder mehr Wellenlängen oder Wellenlängenbereichen
31
Untersuchen relativer Materialeffekte bei Wellenlängen, die für spezifische Elemente oder Moleküle charakteristisch sind, z.B. Atomabsorptionsspektrometrie
35
mit infrarotem Licht
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21
Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
17
Systeme, in denen einfallendes Licht durch die Eigenschaften des untersuchten Materials beeinflusst wird
25
Farbe; Spektraleigenschaften, d.h. Vergleich der Materialeffekte bei Licht von zwei oder mehr Wellenlängen oder Wellenlängenbereichen
31
Untersuchen relativer Materialeffekte bei Wellenlängen, die für spezifische Elemente oder Moleküle charakteristisch sind, z.B. Atomabsorptionsspektrometrie
33
mit ultraviolettem Licht
G Physik
01
Messen; Prüfen
Q
Rastersondentechniken oder Vorrichtungen hierfür; Anwendung von Rastersondentechniken, z.B. Rastersondenmikroskopie [Scanning-Probe Microscopy = SPM]
60
Besondere Arten der Rastersondenmikroskopie [SPM] oder Vorrichtungen hierfür; wesentliche Bestandteile hiervon
24
Kraftmikroskopie [Atomic Force Microscopy = AFM] und Vorrichtungen hierfür, z.B. AFM-Sonden
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
29
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen mittels Ultraschall-, Schall- oder Infraschallwellen; Sichtbarmachen des Inneren von Gegenständen durch Übertragen von Ultraschall-, Schall- oder Infraschallwellen durch den Gegenstand
04
Analysieren von Festkörpern
12
durch Messung der Frequenz oder Resonanz akustischer Wellen
Anmelder:
BRUKER NANO, INC. [US/US]; 112 Robin Hill Road Santa Barbara, CA 93117, US
LEHIGH UNIVERSITY [US/US]; 526 Brodhead Avenue Bethlehem, PA 18015, US
Erfinder:
SU, Chanmin; US
WAGNER, Martin; US
XU, Xiaoji; US
Vertreter:
DURST, Jay, G.; US
Prioritätsdaten:
62/378,10722.08.2016US
62/506,96216.05.2017US
Titel (EN) INFRARED CHARACTERIZATION OF A SAMPLE USING OSCILLATING MODE
(FR) CARACTÉRISATION INFRAROUGE D'UN ÉCHANTILLON À L'AIDE D'UN MODE D'OSCILLATION
Zusammenfassung:
(EN) An apparatus and method of performing sample characterization with an AFM and a pulsed IR laser directed at the tip of a probe of the AFM. The laser pulses are synchronized with the oscillatory drive of the AFM and may only interact with the tip/sample on selected cycles of the oscillation. Peak force tapping mode is preferred for AFM operation. Nano-mechanical and nano-spectroscopic measurements can be made with sub-50 nm, and even sub-20 nm, resolution.
(FR) L'invention concerne un appareil et un procédé de réalisation d'une caractérisation d'échantillon avec un AFM et d'un laser IR pulsé dirigé au niveau de la pointe d'une sonde de l'AFM. Les impulsions laser sont synchronisées avec l'entraînement oscillatoire de l'AFM et peuvent uniquement entrer en interaction avec la pointe/l'échantillon sur des cycles sélectionnés de l'oscillation. Un mode de tapotement à force maximale est préféré pour le fonctionnement de l'AFM. Des mesures nano-mécaniques et nano-spectroscopiques peuvent être effectuées avec une résolution inférieure à 50 nm, et même inférieure à 20 nm.
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Veröffentlichungssprache: Englisch (EN)
Anmeldesprache: Englisch (EN)