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1. (WO2018024543) INTERFEROMETER UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN DESSELBEN

Pub. No.:    WO/2018/024543    International Application No.:    PCT/EP2017/068769
Publication Date: Fri Feb 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Jul 26 01:59:59 CEST 2017
IPC: G02B 26/00
G01J 3/26
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH
Inventors: MERZ, Andreas
HUSNIK, Martin
SCHMID, Marc
STEIN, Benedikt
SCHELLING, Christoph
Title: INTERFEROMETER UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN DESSELBEN
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Interferometer (200) mit einem ersten Spiegelelement (202) und einem durch einen einstellbaren Resonatorspalt (204) von dem ersten Spiegelelement (202) beabstandeten zweiten Spiegelelement (206), wobei das Interferometer (200) eine erste Antriebseinrichtung (100) und eine zweite Antriebseinrichtung (102) aufweist, wobei die erste Antriebseinrichtung (100) dazu ausgebildet ist, eine Spalthöhe (104) des Resonatorspalts (204) einzustellen, wobei die erste Antriebseinrichtung (100) einen ersten Einstellbereich (208) aufweist, wobei die zweite Antriebseinrichtung (102) dazu ausgebildet ist, ebenfalls die Spalthöhe (104) einzustellen, wobei die zweite Antriebseinrichtung (102) einen, den ersten Einstellbereich (208) ergänzenden zweiten Einstellbereich (210) aufweist.