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1. (WO2018020028) VORRICHTUNG ZUM GREIFEN UND TRANSPORTIEREN VON SUBSTRATEN

Pub. No.:    WO/2018/020028    International Application No.:    PCT/EP2017/069216
Publication Date: Fri Feb 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Jul 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/683
H01L 21/677
B65G 21/20
B65G 17/32
H01L 21/67
Applicants: ASYS AUTOMATISIERUNGSSYSTEME GMBH
Inventors: ARNOLD, Achim
WAMSLER, Florian
OPPELT, Klaus
Title: VORRICHTUNG ZUM GREIFEN UND TRANSPORTIEREN VON SUBSTRATEN
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zum Greifen und Transportieren von Substraten, insbesondere Wafern, Leiterplatten, Solarzellen oder dergleichen, mit einem Greifkopf (2), der zumindest eine Auflagefläche (29) zum Auflegen auf ein Substrat und zumindest eine Saugeinrichtung zum Ansaugen des Substrats gegen die Auflagefläche (29) aufweist, wobei die Saugeinrichtung mehrere mit einem Unterdruck beaufschlagbare Vakuumkammern (10,11,12) aufweist, die mit der Auflagefläche (29) zugeordneten Saugöffnungen (22) strömungstechnisch verbunden/verbindbar und in Längsrichtung des Greifkopf (2) voneinander getrennt sind. Es ist vorgesehen, dass die Vakuumkammern (10,11,12) durch zumindest ein Hohlprofil gebildet sind, das eine Hohlkammer (25) aufweist, in welcher zumindest ein separates Trennelement (24) zum Herstellen benachbarter Vakuumkammern (10,11,12) angeordnet ist.