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1. (WO2018020027) VORRICHTUNG ZUM GREIFEN UND TRANSPORTIEREN VON SUBSTRATEN

Pub. No.:    WO/2018/020027    International Application No.:    PCT/EP2017/069215
Publication Date: Fri Feb 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Jul 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/683
B65G 21/20
B65G 47/91
H05K 13/04
H01L 21/677
Applicants: ASYS AUTOMATISIERUNGSSYSTEME GMBH
Inventors: WAMSLER, Florian
ARNOLD, Achim
OPPELT, Klaus
Title: VORRICHTUNG ZUM GREIFEN UND TRANSPORTIEREN VON SUBSTRATEN
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zum Greifen und Transportieren von Substraten, insbesondere Wafern, Leiterplatten, Solarzellen oder dergleichen, mit einem Greifkopf (2), der zumindest eine Auflagefläche (29) zum Auflegen auf ein Substrat und zumindest eine Saugeinrichtung zum Ansaugen des Substrats gegen die Auflagefläche (29) aufweist. Es ist vorgesehen, dass die Saugeinrichtung wenigstens eine Venturidüse (6) aufweist.