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1. (WO2018020026) VORRICHTUNG ZUM GREIFEN UND TRANSPORTIEREN VON SUBSTRATEN
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Veröff.-Nr.: WO/2018/020026 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2017/069214
Veröffentlichungsdatum: 01.02.2018 Internationales Anmeldedatum: 28.07.2017
IPC:
H01L 21/683 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01) ,B65G 21/20 (2006.01) ,B65G 17/32 (2006.01) ,B65H 5/22 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
683
zum Aufnehmen oder Greifen
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
677
zum Transportieren oder Fördern, z.B. zwischen verschiedenen Bearbeitungsstationen
B Arbeitsverfahren; Transportieren
65
Fördern; Packen; Lagern; Handhaben dünner oder fadenförmiger Werkstoffe
G
Transport- oder Lagervorrichtungen, z.B. Förderer zum Laden oder Abladen; Werkstättenfördersysteme; pneumatische Rohrförderanlagen
21
Trag- oder Schutzgestelle oder Gehäuse für endlose Lastträger oder Zugmittel von Band- oder Kettenförderern
20
in oder am Traggerüst oder Gehäuse ein- bzw. angebaute Führungsmittel für die Lastträger, die Zugmittel oder für auf sich bewegenden Flächen getragene Lasten
B Arbeitsverfahren; Transportieren
65
Fördern; Packen; Lagern; Handhaben dünner oder fadenförmiger Werkstoffe
G
Transport- oder Lagervorrichtungen, z.B. Förderer zum Laden oder Abladen; Werkstättenfördersysteme; pneumatische Rohrförderanlagen
17
Förderer mit einem endlosen Zugmittel, z.B. einer Kette, das seine Bewegung auf eine durchgehende oder im wesentlichen durchgehende Lasttragfläche oder auf eine Reihe von einzelnen Last- bzw. Gutträgern überträgt; Endlos-Kettenförderer, deren Ketten die Lasttragfläche bilden
30
Einzelheiten; Hilfseinrichtungen
32
Last- bzw. Gutträger im einzelnen
B Arbeitsverfahren; Transportieren
65
Fördern; Packen; Lagern; Handhaben dünner oder fadenförmiger Werkstoffe
H
Handhaben von dünnem oder fadenförmigem Gut, z.B. Folien, Bahnen, Kabeln
5
Vorschub von Werkstücken, die vom Stapel vereinzelt worden sind; Zuführen von Werkstücken zu Maschinen
22
durch Blasluft- oder Saugvorrichtungen
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
Anmelder:
ASYS AUTOMATISIERUNGSSYSTEME GMBH [DE/DE]; Benzstr. 10 89160 Dornstadt, DE
Erfinder:
WAMSLER, Florian; DE
ARNOLD, Achim; DE
OPPELT, Klaus; DE
Vertreter:
CLARENBACH, Carl-Philipp; DE
GLEISS, Alf-Olav; DE
SCHRELL, Andreas; DE
SCHWAHN, Hartmut; DE
WOHLFAHRT, Jan; DE
KORDEL, Mattias; DE
DIETZ, Christopher; DE
Prioritätsdaten:
10 2016 214 093.029.07.2016DE
Titel (EN) DEVICE FOR GRIPPING AND TRANSPORTING SUBSTRATES
(FR) DISPOSITIF POUR SAISIR ET TRANSPORTER DES SUBSTRATS
(DE) VORRICHTUNG ZUM GREIFEN UND TRANSPORTIEREN VON SUBSTRATEN
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a device (1) for gripping and transporting substrates, in particular wafers, solar cells, circuit boards, or the like, comprising a gripping head (2) having at least one transport belt (16) that forms a support surface (29) for placing on a substrate. The transport belt (16) is guided on an underside of the gripping head (2) along a running surface (15), wherein the gripping head (2) has a suction unit for suctioning the substrate against the support surface (29). According to the invention, the running surface (15) is formed to be curved and projecting downwards.
(FR) L'invention concerne un dispositif (1) pour saisir et transporter des substrats, en particulier des tranches, des cellules solaires, des cartes de circuit imprimé ou similaire, ce dispositif comprenant une tête de préhension (2) qui présente au moins une courroie de transport (16) formant une surface d’appui (29) destinée à être appuyée sur un substrat. La courroie de transport (16) est guidée au niveau d'un côté inférieur de la tête de préhension (2) le long d'une surface de roulement (15), et la tête de préhension (2) présente un système d’aspiration pour aspirer le substrat contre la surface d’appui (29). Selon l'invention, la surface de roulement (15) présente une courbure saillante vers le bas.
(DE) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zum Greifen und Transportieren von Substraten, insbesondere Wafern, Solarzellen, Leiterplatten oder dergleichen, mit einem Greifkopf (2), der zumindest einen einer Auflagefläche (29) zum Auflegen auf ein Substrat bildenden Transportriemen (16) aufweist, wobei der Transportriemen (16) an einer Unterseite des Greifkopfs (2) entlang einer Lauffläche (15) geführt ist, und wobei der Greifkopf (2) eine Saugeinrichtung zum Ansaugen des Substrats gegen die Auflagefläche (29) aufweist. Es ist vorgesehen, dass die Lauffläche (15) nach unten vorstehend gekrümmt ausgebildet ist.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)