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1. (WO2018015155) SENSOR-EINRICHTUNG
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten    Einwendung einreichen

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2018/015155    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2017/066785
Veröffentlichungsdatum: 25.01.2018 Internationales Anmeldedatum: 05.07.2017
IPC:
G02B 26/08 (2006.01), G02B 19/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE)
Erfinder: AMELING, Ralf; (DE).
HAUF, Markus; (DE)
Vertreter: RAU, SCHNECK & HÜBNER PATENTANWÄLTE RECHTSANWÄLTE PARTGMBB; Königstrasse 2 90402 Nürnberg (DE)
Prioritätsdaten:
10 2016 213 026.9 18.07.2016 DE
Titel (DE) SENSOR-EINRICHTUNG
(EN) SENSOR DEVICE
(FR) SYSTÈME CAPTEUR
Zusammenfassung: front page image
(DE)Bei einer Sensor-Einrichtung zur Erfassung der Verlagerungsposition eines optischen Bauelements (20) mit einer Mehrzahl von Stator-Elektroden (44i) sind Mittel zur Eingrenzung des für die Messung der Verlagerungsposition relevanten elektrischen Feldes auf den Bereich der Statorelektroden vorgesehen.
(EN)The invention relates to a sensor device for detecting the displacement position of an optical component (20), comprising a plurality of stator electrodes (44i), wherein means are provided for limiting the electric field relevant for the measurement of the displacement position on the region of the stator electrodes.
(FR)L'invention concerne un système capteur destiné à acquérir la position de déplacement d'un composant optique (20), lequel système comprend une pluralité d’électrodes de stator (44i). Selon l’invention, des moyens sont destinés à limiter le champ électrique essentiel à la mesure de la position de déplacement à la zone des électrodes de stator.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)