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1. WO2018007136 - IONENMIKROSKOPIEVORRICHTUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2018/007136
Veröffentlichungsdatum 11.01.2018
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2017/064872
Internationales Anmeldedatum 19.06.2017
IPC
H01J 37/08 2006.1
HSektion H Elektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
JElektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
37Entladungsröhren mit Vorkehrung zum Einführen von Gegenständen oder Werkstoffen, die der Entladung ausgesetzt werden sollen, z.B. zur Prüfung oder Bearbeitung derselben
02Einzelheiten
04Anordnungen der Elektroden und zugeordneten Teile zum Erzeugen oder Steuern der Entladung, z.B. elektronenoptische oder ionenoptische Anordnung
08Ionenquellen; Ionenstrahlerzeuger
H01J 27/24 2006.1
HSektion H Elektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
JElektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
27Ionenstrahlröhren
02Ionenquellen; Ionenkanonen
24unter Verwendung von Foto-Ionisation, z.B. unter Verwendung eines Laserstrahls
H01J 37/28 2006.1
HSektion H Elektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
JElektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
37Entladungsröhren mit Vorkehrung zum Einführen von Gegenständen oder Werkstoffen, die der Entladung ausgesetzt werden sollen, z.B. zur Prüfung oder Bearbeitung derselben
26Elektronenmikroskopie oder Ionenmikroskope; Elektronenbeugungsröhren oder Ionenbeugungsröhren
28mit Abtaststrahlen oder Abtaststrahlenbündeln
CPC
H01J 2237/0807
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
06Sources
08Ion sources
0802Field ionization sources
0807Gas field ion sources [GFIS]
H01J 27/24
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
27Ion beam tubes
02Ion sources; Ion guns
24using photo-ionisation, e.g. using laser beam
H01J 27/26
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
27Ion beam tubes
02Ion sources; Ion guns
26using surface ionisation, e.g. field effect ion sources, thermionic ion sources
H01J 37/08
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
08Ion sources; Ion guns
H01J 37/28
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
28with scanning beams
Anmelder
  • HELMHOLTZ-ZENTRUM DRESDEN - ROSSENDORF E. V. [DE]/[DE]
Erfinder
  • KLINGNER, Nico
  • HELLER, René
  • HLAWACEK, Gregor
  • FACSKO, Stefan
  • VON BORANY, Johannes
  • WILHELM, Richard, Arthur
Prioritätsdaten
10 2016 112 328.506.07.2016DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (de)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) IONENMIKROSKOPIEVORRICHTUNG
(EN) ION MICROSCOPY DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MICROSCOPIE IONIQUE
Zusammenfassung
(DE) Die Erfindung betrifft eine Ionenmikroskopievorrichtung mit einer Ionenquelle zum Erzeugen eines Ionenstrahls, einem Detektor, einer Spannungsquelle und einem Photonenpuls-Generator, wobei die Ionenmikroskopievorrichtung zum Bestrahlen eines Objekts mit dem Ionenstrahl unter Erzeugung von Wechselwirkungsteilchen ausgebildet ist, wobei die Ionenquelle eine Gasionisationskammer, eine in derselben angeordnete spitzenförmige Elektrode und eine Gegenelektrode aufweist, der Detektor zum Erfassen der Wechselwirkungsteilchen dient, die Spannungsquelle zum Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen die Elektrode und die Gegenelektrode dient, und der Photonenpuls-Generator zum Erzeugen von in die Ionisationskammer gerichteten Photonenpulsen derart dient, dass mittels eines Photonenpulses ein Ionenpuls erzeugbar ist, wobei die Ionenmikroskopievorrichtung zum Erfassen der Zeitspanne zwischen einem Photonenpuls und dem Erfassen der Wechselwirkungsteilchen, die von dem mittels dieses Photonenpulses erzeugten Ionenpuls generiert sind, durch den Detektor ausgebildet ist.
(EN) The invention relates to an ion microscopy device having an ion source for generating an ion beam, a detector, a voltage source and a photon pulse generator, wherein the ion microscopy device is designed to irradiate an object with the ion beam with the generation of interaction particles, wherein the ion source has a gas ionization chamber, a pointed electrode arranged in the latter and a counter-electrode, the detector is used to capture the interaction particles, the voltage source is used to apply an electrical voltage between the electrode and the counter-electrode, and the photon pulse generator is used to generate photon pulses directed into the ionization chamber in such a manner that an ion pulse can be generated by means of a photon pulse, wherein the ion microscopy device is designed to capture the period of time between a photon pulse and the capture of the interaction particles generated by the ion pulse generated by means of this photon pulse by means of the detector.
(FR) L'invention concerne un dispositif de microscopie ionique doté de : une source d’ions servant à générer un faisceau d’ions ; un détecteur ; une source de tension ; et un générateur d’impulsions photoniques. Le dispositif de microscopie ionique est conçu pour irradier un objet avec le faisceau d’ions en présence d’une génération de particules interactives tandis que la source d’ions comprend une chambre d’ionisation de gaz, une électrode de forme pointue disposée dans ladite chambre et une contre-électrode. Le détecteur sert à détecter les particules interactives, la source de tension servant à appliquer une tension électrique entre l’électrode et la contre-électrode, et le générateur d’impulsions photoniques sert à générer des impulsions photoniques orientées dans la chambre d’ionisation de manière à pouvoir générer une impulsion ionique au moyen d’une impulsion photonique. Le dispositif de microscopie ionique est conçu pour détecter un laps de temps entre une impulsion photonique et la détection, par le détecteur, des particules interactives qui sont générées par l’impulsion ionique générée au moyen de cette impulsion photonique.
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