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1. (WO2018002225) ANORDNUNG ZUR MIKROSKOPIE UND ZUR KORREKTUR VON ABERRATIONEN

Pub. No.:    WO/2018/002225    International Application No.:    PCT/EP2017/066136
Publication Date: Fri Jan 05 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Jun 30 01:59:59 CEST 2017
IPC: G02B 21/00
G02B 21/16
G02B 21/36
G02B 21/02
Applicants: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
Inventors: SIEBENMORGEN, Jörg
LIPPERT, Helmut
KALKBRENNER, Thomas
KLEPPE, Ingo
WOLLESCHENSKY, Ralf
DEGEN, Artur
WALD, Matthias
WITTIG, Lars-Christian
GÖLLES, Michael
SINGER, Wolfgang
Title: ANORDNUNG ZUR MIKROSKOPIE UND ZUR KORREKTUR VON ABERRATIONEN
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Anordnung(1)zur Mikroskopie, umfassendeine Beleuchtungsoptik mit einem Beleuchtungsobjektiv(2) zur Beleuchtung einer auf einem Probenträger(7)in einem Probenbereich einer Probenebene(4)befindlichen Probe (5) über einen Beleuchtungsstrahlengang, wobeidie optische Achse (A1) des Beleuchtungsobjektivs (2)in einer Ebeneliegt, die mit der Normalen einer Probenebene(4), hinsichtlich welcher der Probenträger(7)ausgerichtet ist, einen von Null verschiedenen Beleuchtungswinkel (α1) einschließt, und die Beleuchtung in der Ebene erfolgt. Ferner ist eine Detektionsoptik mit einem Detektionsobjektiv (3) in einem Detektionsstrahlengangvorhanden, dessen optische Achse (A2) mit der Normalen der Probenebene (4) einen von Null verschiedenen Detektionswinkel(α2) einschließt. Das Beleuchtungsobjektiv (2) und/oderdas Detektionsobjektiv (3) umfasstein im Strahlengang angeordnetes Beleuchtungskorrekturelement(2KE) und/oder ein Detektionskorrekturelement(3KE). Erfindungsgemäß ist zwischen dem Probenträger(7) und den Objektiven(2,3) eine Meniskuslinse(10) vorhanden, die sowohl in dem Beleuchtungsstrahlengang als auch in dem Detektionsstrahlengang angeordnet undzur Korrektur von Aberrationen ausgebildetist. Das Beleuchtungskorrekturelement(2KE) und/oder das Detektionskorrekturelement(3KE) ist/sindzur Korrektur von verbliebenen Aberrationenausgebildet.