Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen

1. (WO2018001875) INERTIALSENSOR ZUR MESSUNG EINER DREHRATE UND/ODER BESCHLEUNIGUNG

Pub. No.:    WO/2018/001875    International Application No.:    PCT/EP2017/065473
Publication Date: Fri Jan 05 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Jun 23 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01C 19/5733
G01P 15/08
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH
Inventors: PRUETZ, Odd-Axel
Title: INERTIALSENSOR ZUR MESSUNG EINER DREHRATE UND/ODER BESCHLEUNIGUNG
Abstract:
Es wird ein Inertialsensor zur Messung einer Drehrate und/oder Beschleunigung vorgeschlagen, insbesondere ein mikroelektromechanischer Inertialsensor, wobei der Inertialsensor ein Substrat aufweist, wobei das Substrat eine Haupterstreckungsebene aufweist, wobei der Inertialsensor wenigstens zwei aus einer Ruhelage auslenkbare Massen aufweist, wobei die Massen mechanisch mit dem Substrat gekoppelt sind, wobei der Inertialsensor wenigstens ein Detektionsmittel zur Detektion von Bewegungen der Massen entlang einer ersten Richtung aufweist, wobei die Massen durch wenigstens ein erstes Koppelelement, ein zweites Koppelelement und ein drittes Koppelelement miteinander mechanisch gekoppelt sind, wobei das erste Koppelelement eine erste Haupterstreckungsrichtung aufweist, wobei das zweite Koppelelement eine zweite Haupterstreckungsrichtung aufweist, wobei das dritte Koppelelement eine dritte Haupterstreckungsrichtung aufweist, wobei die erste Haupterstreckungsrichtung, die zweite Haupterstreckungsrichtung und die dritte Haupterstreckungsrichtung in der Ruhelage im Wesentlichen parallel zu der Haupterstreckungsebene angeordnet sind, wobei die Koppelelemente im Wesentlichen starr ausgebildet sind, wobei jedes Koppelelement mit wenigstens einem anderen der Koppelelemente verbunden ist, wobei die Koppelelemente derart angeordnet sind, dass bei einer Auslenkung der Massen aus der Ruhelage eine Verschwenkung der ersten Haupterstreckungsrichtung gegenüber der zweiten Haupterstreckungsrichtung und eine Verschwenkung der zweiten gegenüber der dritten Haupterstreckungsrichtung erfolgt, wobei die Koppelemente über wenigstens eine Substratanbindungsstelle mechanisch mit dem Substrat gekoppelt sind.