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1. (WO2017220272) SUBSTRAT-TRÄGERELEMENT FÜR EINE TRÄGERHORDE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten    Einwendung einreichen

Veröff.-Nr.: WO/2017/220272 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2017/062289
Veröffentlichungsdatum: 28.12.2017 Internationales Anmeldedatum: 22.05.2017
IPC:
H01L 21/673 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01) ,H01L 21/687 (2006.01)
Anmelder: HERAEUS NOBLELIGHT GMBH[DE/DE]; Heraeusstrasse 12-14 63450 Hanau, DE
Erfinder: PIELA, Thomas; DE
VON RIEWEL, Larissa; DE
Vertreter: HERAEUS IP; Heraeus Holding GmbH Heraeusstr. 12 - 14 63450 Hanau, DE
Prioritätsdaten:
10 2016 111 236.420.06.2016DE
Titel (EN) SUBSTRATE SUPPORT ELEMENT FOR A SUPPORT RACK
(FR) ÉLÉMENT DE SUPPORT DE SUBSTRAT POUR UN PLATEAU SUPPORT
(DE) SUBSTRAT-TRÄGERELEMENT FÜR EINE TRÄGERHORDE
Zusammenfassung: front page image
(EN) Known substrate support elements for a support rack for the thermal treatment of a substrate have a supporting surface for the substrate. The aim of the invention is to, starting from this point, specify a substrate support element which permits the most homogenous heating of the substrate possible. This aim is achieved, according to the invention, in that the substrate support element is a composite element which comprises a first composite component and a second composite component, wherein the first composite component has a thermal conductivity in the range from 0.5 to 40 W/(m∙K) and the second composite component has a thermal conductivity in the range from 70 to 450 W/(m∙K).
(FR) Des éléments de support de substrat connus pour un plateau support servant au traitement thermique d'un substrat comportent une surface d'appui pour le substrat. Partant de ce fait, l’invention vise à fournir un élément de support de substrat permettant une augmentation de température du substrat la plus homogène possible. À cet effet, l’élément de support de substrat est un corps en composite qui comprend un premier constituant et un second constituant, le premier constituant du composite présentant une conductivité thermique comprise entre 0,5 et 40 W/(m∙K) et le second constituant du composite présentant une conductivité thermique comprise entre 70 et 450 W/(m∙K).
(DE) Bekannte Substrat-Trägerelemente für eine Trägerhorde zur thermischen Behandlung eines Substrats weisen eine Auflagefläche für das Substrat auf. Um hiervon ausgehend ein Substrat-Trägerelement anzugeben, das eine möglichst homogene Erwärmung des Substrats ermöglicht, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das Substrat-Trägerelement ein Verbundkörper ist, der eine erste Verbundkomponente und eine zweite Verbundkomponente umfasst, wobei die erste Verbundkomponente eine Wärmeleitfähigkeit im Bereich von 0,5 bis 40 W/(m∙K) und die zweite Verbundkomponente eine Wärmeleitfähigkeit im Bereich von 70 bis 450 W/(m∙K) aufweist.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)