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1. WO2017216173 - MASSENSPEKTROMETRISCHER LECKSUCHER MIT TURBOMOLEKULARPUMPE UND BOOSTERPUMPE AUF GEMEINSAMER WELLE

Veröffentlichungsnummer WO/2017/216173
Veröffentlichungsdatum 21.12.2017
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2017/064434
Internationales Anmeldedatum 13.06.2017
IPC
F04D 19/04 2006.1
FSektion F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
DStrömungsarbeitsmaschinen
19Lüfter , Gebläse, Verdichter axialer Bauart
02Mehrstufige Gebläse und Verdichter
04zur Erzeugung hohen Vakuums, z.B. Molekularpumpen
G01M 3/20 2006.1
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
MPrüfen der statischen oder dynamischen Massenverteilung rotierender Teile von Maschinen oder Konstruktionen; Prüfen von Konstruktionsteilen oder Apparaten, soweit nicht anderweitig vorgesehen
3Untersuchen der Dichtheit und Festigkeit von Konstruktionen gegen Fluide
02durch Gas, Flüssigkeit oder Vakuum
04durch Nachweis der Anwesenheit von Gas oder Flüssigkeit an der Leckstelle
20mit besonderen Stoffen zum Ausfindigmachen, z.B. Farbstoff, fluoreszierender Stoff, radioaktiver Stoff
F04D 29/10 2006.1
FSektion F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
DStrömungsarbeitsmaschinen
29Einzelheiten, Bauteile oder Zubehör
08Dichtungen
10Wellenabdichtungen
CPC
F04D 19/04
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
F04D 19/042
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
042Turbomolecular vacuum pumps
F04D 19/046
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
046Combinations of two or more different types of pumps
F04D 25/16
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
25Pumping installations or systems
16Combinations of two or more pumps ; Producing two or more separate gas flows
F04D 29/104
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
29Details, component parts, or accessories
08Sealings
10Shaft sealings
102especially adapted for elastic fluid pumps
104the sealing fluid being other than the working fluid or being the working fluid treated
G01M 3/205
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
3Investigating fluid-tightness of structures
02by using fluid or vacuum
04by detecting the presence of fluid at the leakage point
20using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
202using mass spectrometer detection systems
205Accessories or associated equipment; Pump constructions
Anmelder
  • INFICON GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • GROSSE BLEY, Werner
  • BÖHM, Thomas
  • BRUHNS, Hjalmar
Vertreter
  • DOMPATENT VON KREISLER SELTING WERNER - PARTNERSCHAFT VON PATENTANWÄLTEN UND RECHTSANWÄLTEN MBB
Prioritätsdaten
10 2016 210 701.115.06.2016DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (de)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) MASSENSPEKTROMETRISCHER LECKSUCHER MIT TURBOMOLEKULARPUMPE UND BOOSTERPUMPE AUF GEMEINSAMER WELLE
(EN) MASS-SPECTROMETRY LEAK DETECTOR HAVING A TURBOMOLECULAR PUMP AND A BOOSTER PUMP ON A COMMON SHAFT
(FR) DÉTECTEUR DE FUITES PAR SPECTROMÉTRIE DE MASSE COMPRENANT UNE POMPE TURBOMOLÉCULAIRE ET UNE POMPE BOOSTER SUR UN ARBRE COMMUN
Zusammenfassung
(DE) Massenspektrometrischer Lecksucher mit einer mehrstufigen Turbomolekularpumpe (12), einem mit der Saugseite der Turbomolekularpumpe (12) verbundenen Massenspektrometer (17), einer mit der Druckseite der Turbomolekularpumpe (12) verbundenen Vorvakuumpumpe (18) und einer Boosterpumpstufe (24), deren Saugseite einen Anschluss (28) für einen zu testenden Prüfling aufweist und deren Druckseite mit der Druckseite der Turbomolekularpumpe (12) und mit der Saugseite der Vorvakuumpumpe (18) über einen Gasleitungsweg (22) verbunden ist, dadurch gekennzeichnet,dass die Stufen (30, 32) der Turbomolekularpumpe (12) und die Boosterpumpstufe auf einer gemeinsamen Welle angeordnet sind und einen gemeinsamen Antrieb (34) aufweisen und der Gasleitungsweg zwischen der Druckseite der mit dem Prüfling verbindbaren Boosterpumpstufe und der Saugseite der mit dem Massenspektrometer (17) verbundenen Pumpstufe der Turbomolekularpumpe (12) durch eine Auftrennung (36) unterbrochen ist.
(EN) The invention relates to a mass-spectrometry leak detector, comprising a multi-stage turbomolecular pump (12), a mass spectrometer (17) connected to the suction side of the turbomolecular pump (12), a preliminary vacuum pump (18) connected to the pressure side of the turbomolecular pump (12), and a booster pump stage (24), the suction side of which has a connection (28) for a test object to be tested and the pressure side of which is connected to the pressure side of the turbomolecular pump (12) and to the suction side of the preliminary vacuum pump (18) by means of a gas line path (22), characterized in that the stages (30, 32) of the turbomolecular pump (12) and the booster pump stage are arranged on a common shaft and have a common drive (34) and the gas line path is interrupted, by means of a separation (36), between the pressure side of the booster pump stage, which booster pump stage can be connected to the test object, and the suction of the pump stage of the turbomolecular pump (12) connected to the mass spectrometer (17).
(FR) L'invention concerne un détecteur de fuites par spectrométrie de masse comprenant une pompe turbomoléculaire (12) multiétagée, un spectromètre de masse (17) relié au côté entrée de la pompe turbomoléculaire (12), une pompe à vide préliminaire (18) reliée au côté refoulement de la pompe turbomoléculaire (12) et une pompe booster (24) dont le côté entrée comprend un raccord (28) pour un échantillon à tester et dont le côté refoulement est relié au côté refoulement de la pompe turbomoléculaire (12) et au côté entrée de la pompe à vide préliminaire (18) par le biais d'un passage de gaz (22). Le détecteur de fuites est caractérisé en ce que les étages (30, 32) de la pompe turbomoléculaire (12) et l'étage de pompe booster sont disposés sur un arbre commun et comprennent un entraînement (34) commun, et le passage de gaz est interrompu par une séparation (36) entre le côté refoulement de l'étage de pompe booster pouvant être relié à l'échantillon et le côté entrée de l'étage de la pompe turbomoléculaire (12) relié au spectromètre de masse (17).
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