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1. (WO2017216173) MASSENSPEKTROMETRISCHER LECKSUCHER MIT TURBOMOLEKULARPUMPE UND BOOSTERPUMPE AUF GEMEINSAMER WELLE
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Veröff.-Nr.: WO/2017/216173 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2017/064434
Veröffentlichungsdatum: 21.12.2017 Internationales Anmeldedatum: 13.06.2017
IPC:
F04D 19/04 (2006.01) ,G01M 3/20 (2006.01) ,F04D 29/10 (2006.01)
Anmelder: INFICON GMBH[DE/DE]; Bonner Str. 498 50968 Köln, DE
Erfinder: GROSSE BLEY, Werner; DE
BÖHM, Thomas; DE
BRUHNS, Hjalmar; DE
Vertreter: DOMPATENT VON KREISLER SELTING WERNER - PARTNERSCHAFT VON PATENTANWÄLTEN UND RECHTSANWÄLTEN MBB; Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln, DE
Prioritätsdaten:
10 2016 210 701.115.06.2016DE
Titel (EN) MASS-SPECTROMETRY LEAK DETECTOR HAVING A TURBOMOLECULAR PUMP AND A BOOSTER PUMP ON A COMMON SHAFT
(FR) DÉTECTEUR DE FUITES PAR SPECTROMÉTRIE DE MASSE COMPRENANT UNE POMPE TURBOMOLÉCULAIRE ET UNE POMPE BOOSTER SUR UN ARBRE COMMUN
(DE) MASSENSPEKTROMETRISCHER LECKSUCHER MIT TURBOMOLEKULARPUMPE UND BOOSTERPUMPE AUF GEMEINSAMER WELLE
Zusammenfassung: front page image
(EN) The invention relates to a mass-spectrometry leak detector, comprising a multi-stage turbomolecular pump (12), a mass spectrometer (17) connected to the suction side of the turbomolecular pump (12), a preliminary vacuum pump (18) connected to the pressure side of the turbomolecular pump (12), and a booster pump stage (24), the suction side of which has a connection (28) for a test object to be tested and the pressure side of which is connected to the pressure side of the turbomolecular pump (12) and to the suction side of the preliminary vacuum pump (18) by means of a gas line path (22), characterized in that the stages (30, 32) of the turbomolecular pump (12) and the booster pump stage are arranged on a common shaft and have a common drive (34) and the gas line path is interrupted, by means of a separation (36), between the pressure side of the booster pump stage, which booster pump stage can be connected to the test object, and the suction of the pump stage of the turbomolecular pump (12) connected to the mass spectrometer (17).
(FR) L'invention concerne un détecteur de fuites par spectrométrie de masse comprenant une pompe turbomoléculaire (12) multiétagée, un spectromètre de masse (17) relié au côté entrée de la pompe turbomoléculaire (12), une pompe à vide préliminaire (18) reliée au côté refoulement de la pompe turbomoléculaire (12) et une pompe booster (24) dont le côté entrée comprend un raccord (28) pour un échantillon à tester et dont le côté refoulement est relié au côté refoulement de la pompe turbomoléculaire (12) et au côté entrée de la pompe à vide préliminaire (18) par le biais d'un passage de gaz (22). Le détecteur de fuites est caractérisé en ce que les étages (30, 32) de la pompe turbomoléculaire (12) et l'étage de pompe booster sont disposés sur un arbre commun et comprennent un entraînement (34) commun, et le passage de gaz est interrompu par une séparation (36) entre le côté refoulement de l'étage de pompe booster pouvant être relié à l'échantillon et le côté entrée de l'étage de la pompe turbomoléculaire (12) relié au spectromètre de masse (17).
(DE) Massenspektrometrischer Lecksucher mit einer mehrstufigen Turbomolekularpumpe (12), einem mit der Saugseite der Turbomolekularpumpe (12) verbundenen Massenspektrometer (17), einer mit der Druckseite der Turbomolekularpumpe (12) verbundenen Vorvakuumpumpe (18) und einer Boosterpumpstufe (24), deren Saugseite einen Anschluss (28) für einen zu testenden Prüfling aufweist und deren Druckseite mit der Druckseite der Turbomolekularpumpe (12) und mit der Saugseite der Vorvakuumpumpe (18) über einen Gasleitungsweg (22) verbunden ist, dadurch gekennzeichnet,dass die Stufen (30, 32) der Turbomolekularpumpe (12) und die Boosterpumpstufe auf einer gemeinsamen Welle angeordnet sind und einen gemeinsamen Antrieb (34) aufweisen und der Gasleitungsweg zwischen der Druckseite der mit dem Prüfling verbindbaren Boosterpumpstufe und der Saugseite der mit dem Massenspektrometer (17) verbundenen Pumpstufe der Turbomolekularpumpe (12) durch eine Auftrennung (36) unterbrochen ist.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)