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1. (WO2017211630) SUSZEPTOR ZUM HALTEN EINER HALBLEITERSCHEIBE, HALBLEITERSCHEIBE UND HERSTELLUNGSVERFAHREN

Pub. No.:    WO/2017/211630    International Application No.:    PCT/EP2017/063089
Publication Date: Fri Dec 15 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Thu Jun 01 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/02
H01L 21/687
C30B 31/14
C30B 25/12
C23C 16/458
Applicants: SILTRONIC AG
Inventors: HABERECHT, Jörg
Title: SUSZEPTOR ZUM HALTEN EINER HALBLEITERSCHEIBE, HALBLEITERSCHEIBE UND HERSTELLUNGSVERFAHREN
Abstract:
Suszeptor zum Halten einer Halbleiterscheibe während des Abscheidens einer epitaktischen Schicht auf einer Vorderseite der Halbleiterscheibe, umfassend einen Suszeptorring und einen Suszeptorboden, wobei unter dem Suszeptorring Vertiefungen im Suszeptorboden rotationssymmetrisch verteilt angeordnet sind; Verfahren zum Abscheiden einer epitaktischen Schicht auf einer Vorderseite einer Halbleiterscheibe unter Verwendung des Suszeptors; und Halbleiterscheibe mit epitaktischer Schicht.