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1. (WO2017205361) COMBINED PATCH AND DESIGN-BASED DEFECT DETECTION
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Veröff.-Nr.: WO/2017/205361 Internationale Anmeldenummer PCT/US2017/033976
Veröffentlichungsdatum: 30.11.2017 Internationales Anmeldedatum: 23.05.2017
IPC:
G01N 21/95 (2006.01) ,G01N 21/88 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21
Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
84
Systeme, speziell ausgebildet für besondere Anwendungen
88
Untersuchen der Anwesenheit von Fehlern oder Verunreinigungen
95
gekennzeichnet durch das Material oder die Form des zu untersuchenden Gegenstandes
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21
Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
84
Systeme, speziell ausgebildet für besondere Anwendungen
88
Untersuchen der Anwesenheit von Fehlern oder Verunreinigungen
Anmelder:
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Erfinder:
BRAUER, Bjorn; US
BHATTACHARYYA, Santosh; US
Vertreter:
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M. N; US
Prioritätsdaten:
15/356,79921.11.2016US
62/341,54525.05.2016US
Titel (EN) COMBINED PATCH AND DESIGN-BASED DEFECT DETECTION
(FR) DÉTECTION DE DÉFAUT COMBINÉE À BASE DE PLAQUE ET DE CONCEPTION
Zusammenfassung:
(EN) Defect detection is performed by comparing a test image and a reference image with a rendered design image, which may be generated from a design file. This may occur because a comparison of the test image and another reference image was inconclusive due to noise. The results of the two comparisons with the rendered design image can indicate whether a defect is present in the test image.
(FR) Selon la présente invention, la détection de défaut est effectuée par comparaison d'une image d’essai et d'une image de référence à une image de conception rendue, qui peut être générée à partir d'un fichier de conception. Cela peut être réalisé parce qu'une comparaison de l'image d'essai et d'une autre image de référence n’était pas concluante en raison du bruit. Les résultats des deux comparaisons à l'image de conception rendue peuvent indiquer si un défaut est présent dans l'image d’essai.
front page image
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Englisch (EN)
Anmeldesprache: Englisch (EN)