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1. WO2017202611 - MIKROMECHANISCHES BAUTEIL FÜR EINE DRUCKSENSORVORRICHTUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2017/202611
Veröffentlichungsdatum 30.11.2017
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2017/061176
Internationales Anmeldedatum 10.05.2017
IPC
G01L 9/00 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
LMessen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
G01L 9/12 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
LMessen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
12unter Ausnutzung von Kapazitätsänderungen
G01P 15/125 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
PMessen der Linear- oder Winkelgeschwindigkeit, der Beschleunigung, der Verzögerung oder des Stoßes; Anzeigen des Vorhandenseins oder Fehlens einer Bewegung; Anzeigen der Richtung einer Bewegung
15Messen der Beschleunigung; Messen der Verzögerung; Messen des Stoßes bei einer plötzlichen Beschleunigung
02durch Anwendung von Trägheitskräften
08mit Umwandlung in elektrische oder magnetische Größen
125durch kapazitive Umformer
CPC
G01L 9/0072
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
0072using variations in capacitance
G01L 9/12
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
12by making use of variations in capacitance ; , i.e. electric circuits therefor
G01P 15/125
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
15Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
02by making use of inertia forces ; using solid seismic masses
08with conversion into electric or magnetic values
125by capacitive pick-up
G01P 2015/0828
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
15Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
02by making use of inertia forces ; using solid seismic masses
08with conversion into electric or magnetic values
0805being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
0822for defining out-of-plane movement of the mass
0825for one single degree of freedom of movement of the mass
0828the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • REINMUTH, Jochen
Prioritätsdaten
10 2016 209 241.327.05.2016DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) MIKROMECHANISCHES BAUTEIL FÜR EINE DRUCKSENSORVORRICHTUNG
(EN) MICROMECHANICAL COMPONENT FOR A PRESSURE SENSOR DEVICE
(FR) ÉLÉMENT MICRO-MÉCANIQUE POUR DISPOSITIF À CAPTEUR DE PRESSION
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil für eine Drucksensorvorrichtung miteiner Membran (16), welche einen Referenzdruck (pr) von einem Außendruck (p) abgrenzt,mindestens einer ersten Statorelektrode (28a), mindestens einer zweiten Statorelektrode (28b), und einer um eine Drehachse (20) verkippbaren Wippenstruktur (22) mit mindestens einer ersten Aktorelektrode (24a) und mindestens einer zweiten Aktorelektrode (24b), wobei die Wippenstruktur (22) derart mit der Membran (16) verbunden ist, dass bei einer Druckgleichheit zwischen dem Außendruck (p) und dem Referenzdruck (pr) die Wippenstruktur (22) und ihre Aktorelektroden (24a, 24b) in ihren Ausgangsstellungen vorliegen, wobeibei einem Vorliegen der Wippenstruktur (22) und ihre Aktorelektroden (24a, 24b) in ihren Ausgangsstellungen eine erste Kapazität zwischen der mindestens einen ersten Aktorelektrode (24a) und der mindestens einen ersten Statorelektrode (28a) von einer zweiten Kapazität zwischen der mindestens einen zweiten Aktorelektrode (24b) und der mindestens einen zweiten Statorelektrode (28b) abweicht.
(EN)
The invention relates to a micromechanical component for a pressure sensor device comprising a diaphragm (16) which isolates a reference pressure (pr) from an external pressure (p), at least one first stator electrode (28a), at least one second stator electrode (28b), and a rocker structure (22) which can be tilted about a rotational axis (20) and has at least one first actuator electrode (24a) and at least one second actuator electrode (24b), wherein the rocker structure (22) is connected to the diaphragm (16) in such a way that, in the event of equal pressure between the external pressure (p) and the reference pressure (pr), the rocker structure (22) and the actuator electrodes (24a, 24b) thereof are present in their starting positions, wherein, when the rocker structure (22) and the actuator electrodes (24a, 24b) thereof are in their starting positions, a first capacity between the at least one first actuator electrode (24a) and the at least one first stator electrode (28a) deviates from a second capacity between the at least one second actuator electrode (24b) and the at least one second stator electrode (28b).
(FR)
L'invention concerne un élément micro-mécanique pour un dispositif à capteur de pression comprenant une membrane (16), laquelle limite une pression de référence (pr) par rapport à une pression extérieure (p), au moins une première électrode de stator (28a), au moins une deuxième électrode de stator (28b), et une structure à bascule (22) pouvant basculer autour d'un axe de rotation (20) et pourvue d'au moins une première électrode d'actionneur (24a) et d'au moins une deuxième électrode d'actionneur (24b). La structure à bascule (22) est reliée à la membrane (16) de telle manière que, lorsque la pression extérieure (p) et la pression de référence (pr) sont identiques, la structure à bascule (22) et ses électrodes d'actionneur (24a, 24b) se situent dans leurs positions initiales. Lorsque la structure à bascule (22) et ses électrodes d'actionneur (24a, 24b) se situent dans leurs positions initiales, une première capacité entre la ou les premières électrodes d'actionneur (24a) et la ou les premières électrodes de stator (28a) se différencie d'une deuxième capacité entre la ou les deuxièmes électrodes d'actionneur (24b) et la ou les deuxièmes électrodes de stator (28b).
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