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1. (WO2017182179) MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL
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Veröff.-Nr.: WO/2017/182179 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2017/054275
Veröffentlichungsdatum: 26.10.2017 Internationales Anmeldedatum: 24.02.2017
IPC:
H04R 17/02 (2006.01)
H Elektrotechnik
04
Elektrische Nachrichtentechnik
R
Lautsprecher, Mikrofone, Schallplatten-Tonabnehmer oder ähnliche akustische, elektromechanische Wandler; Hörhilfen für Schwerhörige; Großlautsprecheranlagen
17
Piezoelektrische Wandler; elektrostriktive Wandler
02
Mikrofone
Anmelder:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Erfinder:
DOESSEL, Kerrin; DE
PURKL, Fabian; DE
PANTEL, Daniel; DE
Prioritätsdaten:
10 2016 206 566.119.04.2016DE
Titel (EN) MICROMECHANICAL COMPONENT, AND METHOD FOR PRODUCING A MICROMECHANICAL COMPONENT
(FR) COMPOSANT MICROMÉCANIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN COMPOSANT MICROMÉCANIQUE
(DE) MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a micromechanical component having a first outer electrode (10), a second outer electrode (12) and an intermediate electrode (14), a first piezoelectric layer (16) with which a first intermediate volume between a surface of the first outer electrode (10) and the intermediate electrode (14) is at least partially filled, and a second piezoelectric layer (18) with which a second intermediate volume between a surface of the intermediate electrode (14) and the second outer electrode (12) is at least partially filled, wherein the first piezoelectric layer (16) is configured such that the first polarization component (P1) thereof, oriented perpendicularly to the surface of the outer electrode (10), is oriented predominantly in a first direction, and the second piezoelectric layer (18) is configured such that the second polarization component (P2) thereof, oriented perpendicularly to the surface of the intermediate electrode (14), is oriented predominantly in a second direction directed counter to the first direction. The invention also relates to a microphone, a sensor device and an energy harvester. The invention further relates to a method for producing a micromechanical component.
(FR) L'invention concerne un composant micromécanique comprenant une première électrode externe (10), une deuxième électrode externe (12) et une électrode intermédiaire (14), une première couche piézoélectrique (16), avec laquelle, au moins partiellement, un premier volume intermédiaire, entre une surface de la première électrode externe (10) et une surface de l'électrode intermédiaire (14) est rempli et une deuxième couche piézoélectrique (18) avec laquelle, au moins partiellement, un deuxième volume intermédiaire, entre une surface de l'électrode intermédiaire (14) et une surface de la deuxième électrode externe (12) est rempli, la première couche piézoélectrique (16) étant conçue de telle sorte que son premier composant de polarisation (P1), orienté perpendiculairement à la surface de l'électrode externe (10), est principalement aligné dans une première direction et la deuxième couche piézoélectrique (18) étant conçue de telle sorte que son deuxième composant de polarisation (P2), orienté perpendiculaire à la surface de la deuxième électrode (14), est principalement aligné dans une deuxième direction opposée à la première direction. L'invention concerne également un microphone, un dispositif formant capteur et un dispositif de recueil d'énergie électrique. L'invention concerne en outre un procédé de fabrication d'un composant micromécanique.
(DE) Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einer ersten Außenelektrode (10), einer zweiten Außenelektrode (12) und einer Zwischenelektrode (14), einer ersten piezoelektrischen Schicht (16), mit welcher ein erstes Zwischenvolumen zwischen einer Oberfläche der ersten Außenelektrode (10) und der Zwischenelektrode (14) zumindest teilweise gefüllt ist, und einer zweiten piezoelektrischen Schicht (18), mit welcher ein zweites Zwischenvolumen zwischen einer Oberfläche der Zwischenelektrode (14) und der zweiten Außenelektrode (12) zumindest teilweise gefüllt ist, wobei die erste piezoelektrische Schicht (16) derart ausgebildet ist, dass ihre senkrecht zu der Oberfläche der Außenelektrode (10) ausgerichtete erste Polarisationskomponente (P1) überwiegend in eine erste Richtung ausgerichtet ist, und die zweite piezoelektrische Schicht (18) derart ausgebildet ist, dass ihre senkrecht zu der Oberfläche der Zwischenelektrode (14) ausgerichtete zweite Polarisationskomponente (P2) überwiegend in eine der ersten Richtung entgegen gerichtete zweite Richtung ausgerichtet ist. Ebenso betrifft die Erfindung ein Mikrofon, eine Sensorvorrichtung und einen Energie-Harvester. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)