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1. (WO2017178224) POSITIONSMESSANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER POSITIONSMESSANORDNUNG

Pub. No.:    WO/2017/178224    International Application No.:    PCT/EP2017/057255
Publication Date: Fri Oct 20 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Wed Mar 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01D 5/347
G01D 5/38
G01B 11/14
Applicants: DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH
Inventors: MUSCH, Bernhard
KÄLBERER, Thomas
HUBER, Thomas
Title: POSITIONSMESSANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER POSITIONSMESSANORDNUNG
Abstract:
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Positionsmessanordnung sowie ein Verfahren zum Betrieb derselbigen, um die Relativposition zweier Objekte, die entlang mindestens zweier Freiheitsgrade zueinander beweglich angeordnet sind, zu bestimmen. Hierzu ist mindestens eine Maßverkörperung (10) vorgesehen, die mit einem der beiden Objekte verbunden ist und mindestens eine Messteilung (11) aufweist. Ferner sind mindestens zwei Abtasteinheiten (20.1, 20.2) vorgesehen, die mit dem anderen der beiden Objekte verbunden sind. Die Abtasteinheiten (20.1, 20.2) umfassen jeweils optische Abtastelemente, die zur Ausbildung eines Abtaststrahlengangs dienen, um die Messteilung optisch abzutasten und darüber positionsabhängige Abtastsignale zu erzeugen. Mindestens eine Abtasteinheit tastet außer einer ersten Messteilung zeitweise mindestens eine zweite Messteilung ab. Diese ist derart angeordnet und/oder ausgebildet, dass durch Abtasten der unterschiedlichen Messteilungen eine Veränderung des Arbeitsbereichs bewirkbar ist, der bezüglich der räumlichen Anordnung von Abtasteinheit und Maßverkörperung gegeben ist und in dem die Abtasteinheit positionsabhängige Abtastsignale erzeugen kann.