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1. (WO2017178005) VORRICHTUNG ZUM FIXIEREN VON OBJEKTEN MITTELS VAKUUM
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Veröff.-Nr.: WO/2017/178005 Internationale Anmeldenummer PCT/DE2017/100251
Veröffentlichungsdatum: 19.10.2017 Internationales Anmeldedatum: 30.03.2017
IPC:
G03B 27/60 (2006.01) ,H01L 21/683 (2006.01) ,B23K 37/04 (2006.01) ,B25B 11/00 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01) ,B41F 15/20 (2006.01)
Anmelder: LASER IMAGING SYSTEMS GMBH[DE/DE]; Friedrich-Hund-Straße 3 07745 Jena, DE
Erfinder: SCHOLZ-GÖRLACH, Urban; DE
KLOWSKY, Uwe; DE
FLEMMING, Günter; DE
Vertreter: OEHMKE, Volker; DE
SCHALLER, Renate; DE
FREITAG, Joachim; DE
Prioritätsdaten:
10 2016 106 706.712.04.2016DE
Titel (EN) APPARATUS FOR FIXING OBJECTS BY MEANS OF VACUUM
(FR) DISPOSITIF POUR FIXER DES OBJETS PAR DÉPRESSION
(DE) VORRICHTUNG ZUM FIXIEREN VON OBJEKTEN MITTELS VAKUUM
Zusammenfassung: front page image
(EN) The invention relates to an apparatus for fixing objects by means of vacuum. The invention is based on the problem of making it possible to vary the effective surface area of a vacuum table in a finely graduated manner so that objects with base surface areas of different sizes can be arrested securely. The problem is solved by an apparatus for fixing objects by means of vacuum, in that the table (1) has arranged on it, alongside a first vacuum chamber (11), a second vacuum chamber (12) and a third vacuum chamber (13), which extend the first vacuum chamber (11) and the second vacuum chamber (12) all the way in the x direction, wherein the second vacuum chamber (12) has a structure made up of a multiplicity of parallel and line-forming grooves (15) which run in the x direction, are connected to one another in the y direction via a first connecting channel (22) and can be released or closed in series by means of a line-switching device (2) relating to the first vacuum chamber (11), the third vacuum chamber (13) has a structure made up of a multiplicity of parallel and column-forming grooves (16) which run in the y direction, are connected to one another in the x direction via a second connecting channel (42) and can be released or closed in series by means of a column-switching device (4) relating to the first vacuum chamber (11), and certain sections of the third vacuum chamber (13) can be released or closed in series in the y direction simultaneously, and in a manner corresponding to the number and positions of the line-forming grooves (15), by means of the line-switching device (2) in correspondence with the second vacuum chamber (12).
(FR) L'invention concerne un dispositif pour fixer des objets par dépression. L'invention vise à permettre de moduler de manière graduelle précise la surface active d'une table à dépression, de sorte que des objets ayant des surfaces de base de différentes dimensions peuvent être arrêtés de manière fiable. A cet effet, un dispositif pour fixer des objets par dépression est utilisé, qui se caractérise en ce qu'outre une première chambre à vide (11), une deuxième chambre à vide (12) et une troisième chambre à vide (13) élargissant la deuxième chambre de dépression (12) sur toute l'étendue dans la direction x sont disposées sur la table (1), la première chambre à vide (12) présentant une structure composée d'une pluralité de rainures (15) parallèles qui forment des lignes et s'étendent dans la direction x, lesdites rainures étant interconnectées dans la direction y par l'intermédiaire dun premier canal de liaison (22) et pouvant être dégagées ou fermées de manière séquentielle par rapport à la première chambre à vide (11), la troisième chambre à vide (13) présentant une structure composée d'une pluralité de rainures (16) parallèles qui forment des colonnes et s'étendent dans la direction y, lesdites rainures étant interconnectées dans la direction x par l'intermédiaire d'un deuxième canal de liaison (42) et pouvant être dégagées ou fermées de manière séquentielle par rapport à la première chambre à vide (13) au moyen d'un dispositif de répartition de colonnes (4) et la troisième chambre à vide (13) pouvant être dégagée ou fermée de manière séquentielle dans la direction y, au moyen du dispositif de répartition de lignes (2) simultanément par endroits et conformément au nombre et aux positions des rainures (15) formant des lignes, en concordance avec la deuxième chambre à vide (12).
(DE) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Fixieren von Objekten mittels Vakuum. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Möglichkeit anzugeben, mit der die wirksame Fläche eines Vakuumtisches fein abgestuft variiert werden kann, so dass Objekte mit unterschiedlich großen Grundflächen sicher arretiert werden können. Die Aufgabe wird durch eine Vorrichtung zum Fixieren von Objekten mittels Vakuum, dadurch gelöst, dass auf dem Tisch (1) neben einer ersten Vakuumkammer (11) eine zweite Vakuumkammer (12) und eine die erste Vakuumkammer (11) und die zweite Vakuumkammer (12) auf die gesamte Ausdehnung in x-Richtung erweiternde dritte Vakuumkammer (13) angeordnet ist, wobei die zweite Vakuumkammer (12) eine Struktur aus einer Vielzahl paralleler und in x-Richtung verlaufender zeilenbildender Nuten (15) aufweist, die über einen ersten Verbindungskanal (22) in y-Richtung miteinander verbunden und mittels einer Zeilenschalteinrichtung (2) zur ersten Vakuumkammer (11) seriell freigeb- oder verschließbar sind, die dritte Vakuumkammer (13) eine Struktur aus einer Vielzahl paralleler und in y-Richtung verlaufender spaltenbildender Nuten (16) aufweist, die über einen zweiten Verbindungskanal (42) in x-Richtung miteinander verbunden und mittels einer Spaltenschalteinrichtung (4) zur ersten Vakuumkammer (11) seriell freigeb- oder verschließbar sind, und die dritte Vakuumkammer (13) mittels der Zeilenschalteinrichtung (2) gleichzeitig abschnittsweise und entsprechend der Anzahl und den Positionen der zeilenbildenden Nuten (15) in Übereinstimmung zur zweiten Vakuumkammer (12) seriell in y-Richtung freigeb- oder verschließbar ist.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)