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1. (WO2017174540) FOUP-MESSKAMMER

Pub. No.:    WO/2017/174540    International Application No.:    PCT/EP2017/057917
Publication Date: Fri Oct 13 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Wed Apr 05 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/673
H01L 21/677
Applicants: FABMATICS GMBH
Inventors: BACHLECHNER, Martin
ERLER-LOHSE, Nadja
GÜNTHER, Cornelius
Title: FOUP-MESSKAMMER
Abstract:
Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Purge-Messsystem für FOUPs, die in einem FOUP-Nest positioniert sind. Neben mindestens einem Frei/Besetzt-Sensor für das FOUP-Nest, ist mindestens eine Gaszu- und eine Gasableitung zur Zu- bzw. Abführung von Spülgas vorgesehen. In jeder Gaszuleitung sind mindestens ein Drucksensor, ein Flussmesser und ein regelbares Ventil angeordnet. Das Ventil wird aufgrund der Messergebnisse von Drucksensor und Flussmesser geregelt. In jeder Gasableitung sind mindestens ein Feuchtesensor und/oder ein Sauerstoffsensor vorgesehen.