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1. (WO2017167715) GEZIELTE HERSTELLUNG VON 2,2,3,3-TETRASILYLTETRASILAN
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Veröff.-Nr.: WO/2017/167715 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2017/057251
Veröffentlichungsdatum: 05.10.2017 Internationales Anmeldedatum: 28.03.2017
IPC:
C01B 33/04 (2006.01) ,C23C 16/24 (2006.01)
Anmelder: EVONIK DEGUSSA GMBH[DE/DE]; Rellinghauser Straße 1-11 45128 Essen, DE
Erfinder: STÜGER, Harald; AT
HAAS, Michael; AU
CHRISTOPOULOS, Viktor-Stavros; AT
WUNNICKE, Odo; DE
Prioritätsdaten:
10 2016 205 446.501.04.2016DE
Titel (EN) TARGETED PRODUCTION OF 2,2,3,3-TETRASILYL TETRASILANE
(FR) FABRICATION CIBLÉE DE 2,2,3,3-TÉTRASILYLTÉTRASILANE
(DE) GEZIELTE HERSTELLUNG VON 2,2,3,3-TETRASILYLTETRASILAN
Zusammenfassung:
(EN) The subject matter of the present invention is octasilane 2,2,3,3-tetrasilyl tetrasilane 1, compositions which have, in addition to 2,2,3,3-tetrasilyl tetrasilane 1, one or more other constituents which are not 1, a method for producing 2,2,3,3-tetrasilyl tetrasilane 1 and mixtures of higher hydridosilanes having 1. Further subject matter of the present invention is the use of 1 and mixtures of higher hydridosilanes having 1, for depositing material containing silicon.
(FR) La présente invention concerne l'octasilane 2,2,3,3-tétrasilyltétrasilane de formule (1), des composés qui contiennent outre le 2,2,3,3-tétrasilyltétrasilane de formule (1) un ou plusieurs constituants supplémentaires qui ne sont pas des constituants de formule (1), des procédés de préparation de 2,2,3,3-tétrasilyltétrasilane de formule (1) et des mélanges d'hydridosilanes à valence élevée qui contiennent le constituant de formule (1). La présente invention concerne en outre l'utilisation du constituant de formule (1) et de mélanges d'hydridosilanes de valence élevée qui contiennent le constituant de formule (1), pour le dépôt de matière contenant du silicium.
(DE) Gegenstände der vorliegenden Erfindung sind das Oktasilan 2,2,3,3-Tetrasilyltetrasilan 1, Zusammensetzungen, die neben 2,2,3,3-Tetrasilyltetrasilan 1 ein oder mehrere zusätzliche Bestandteile aufweisen, die nicht 1 sind, Verfahren zur Herstellung von 2,2,3,3-Tetrasilyltetrasilan 1 und Gemischen von höheren Hydridosilanen, welche 1 aufweisen. Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist die Verwendung von 1 und Gemischen von höheren Hydridosilanen, welche 1 aufweisen, zur Abscheidung von Silizium-haltigen Material.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)