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1. (WO2017139495) MICROENVIRONMENT FOR FLEXIBLE SUBSTRATES
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Veröff.-Nr.: WO/2017/139495 Internationale Anmeldenummer PCT/US2017/017242
Veröffentlichungsdatum: 17.08.2017 Internationales Anmeldedatum: 09.02.2017
IPC:
H01L 21/673 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
673
unter Verwendung besonders ausgebildeter Trägersysteme
Anmelder:
ENTEGRIS, INC. [US/US]; 129 Concord Road, Building 2 Billerica, MA 01821, US
Erfinder:
SMITH, Mark, V.; US
GALLAGHER, Gary, M.; US
GREGERSON, Barry; US
FULLER, Matthew, A.; US
JOHNSON, Michael L.; US
Vertreter:
SZYMANSKI, Brian, E.; US
KISSOON, Nidhi, G.; US
PILLION, John, E.; US
GATES, Catherine, D.; US
Prioritätsdaten:
62/293,24009.02.2016US
62/294,19411.02.2016US
Titel (EN) MICROENVIRONMENT FOR FLEXIBLE SUBSTRATES
(FR) MICRO-ENVIRONNEMENT POUR SUBSTRATS FLEXIBLES
Zusammenfassung:
(EN) A substrate container (1100) includes a shell (1105) defining an opening and a door (1505) for selectively sealing the opening. A cantilevered support tray (1120) supports a substrate (1115) within the shell (1105). The support tray (1120) includes a support collar (1300) for coupling the support tray (1120) to a support post (1215) such that the support tray (1120) is cantilevered from the support post (1215).
(FR) L'invention concerne un contenant (1100) pour substrats qui comprend une enveloppe (1105) définissant une ouverture et une porte (1505) pour fermer sélectivement l'ouverture. Un plateau de support en porte-à-faux (1120) porte un substrat (1115) à l'intérieur de l'enveloppe (1105). Le plateau de support (1120) comprend un collier de support (1300) qui permet de coupler le plateau de support (1120) à un montant de support (1215) de façon que le plateau de support (1120) est en porte-à-faux par rapport au montant de support (1215).
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African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Englisch (EN)
Anmeldesprache: Englisch (EN)