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1. (WO2017094751) INSPECTION DEVICE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/2017/094751 Internationale Anmeldenummer PCT/JP2016/085484
Veröffentlichungsdatum: 08.06.2017 Internationales Anmeldedatum: 30.11.2016
IPC:
G01N 21/956 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21
Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
84
Systeme, speziell ausgebildet für besondere Anwendungen
88
Untersuchen der Anwesenheit von Fehlern oder Verunreinigungen
95
gekennzeichnet durch das Material oder die Form des zu untersuchenden Gegenstandes
956
Prüfen von Mustern auf der Oberfläche von Gegenständen
Anmelder:
株式会社ブイ・テクノロジー V TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 神奈川県横浜市保土ヶ谷区神戸町134番地 134, Godo-cho, Hodogaya-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2400005, JP
Erfinder:
米澤 良 YONEZAWA Makoto; JP
Vertreter:
坂田 ゆかり SAKATA Yukari; JP
Prioritätsdaten:
2015-23722604.12.2015JP
Titel (EN) INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION
(JA) 検査装置
Zusammenfassung:
(EN) An inspection device in which a photomask is supported in the vertical direction, wherein the center-of-gravity position of the device can be lowered even when an anti-vibration stage is provided below a surface plate. A substantially cube-shaped recess 10b is formed at each of the four corners of the lower surface 10a of the surface plate 10. The bottom surfaces of the recesses 10b are supported by an anti-vibration stage 51, which is higher than the recess is deep.
(FR) L'invention concerne un dispositif d'inspection dans lequel un photomasque est maintenu dans la direction verticale, la position du centre de gravité du dispositif pouvant être abaissée même lorsqu'une platine anti-vibrations est disposée sous une plaque de surface. Un évidement sensiblement en forme de cube (10b) est formé au niveau de chacun des quatre coins de la surface inférieure (10a) de la plaque de surface (10). Les surfaces inférieures des évidements (10b) sont maintenues par une platine anti-vibrations (51), qui est plus haute que l'évidement est profond.
(JA) 鉛直方向にフォトマスクを支持する検査装置において、定盤の下に除振台を設けつつも、装置の重心位置を低くすることができる。 定盤10の下面10aの四隅に、それぞれ略立方体形状の凹部10bが形成される。凹部10bの底面は、それぞれ凹部の深さより高さが高い除振台51により支持される。
front page image
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Afrikanische regionale Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Japanisch (JA)
Anmeldesprache: Japanisch (JA)
Auch veröffentlicht als:
CN108351312KR1020180090992