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1. WO2017084918 - MIKROMECHANISCHER DREHRATENSENSOR UND BETRIEBSVERFAHREN DESSELBEN

Veröffentlichungsnummer WO/2017/084918
Veröffentlichungsdatum 26.05.2017
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2016/077041
Internationales Anmeldedatum 09.11.2016
IPC
G01C 19/56 2012.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
CMessen von Entfernungen, Höhen, Neigungen oder Richtungen; Geodäsie; Navigation; Kreiselgeräte; Fotogrammmetrie oder Videogrammmetrie
19Kreiselgeräte; drehempfindliche Vorrichtungen, die schwingende Massen nutzen; drehempfindliche Vorrichtungen ohne bewegliche Massen; Messen der Winkelgeschwindigkeit unter Benutzung von Kreiseleffekten
56Drehempfindliche Vorrichtungen, die schwingende Massen nutzen, z.B. schwingende Winkelgeschwindigkeitssensoren, die auf Grundlage der Corioliskraft arbeiten
CPC
B81B 2201/0242
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
02Sensors
0228Inertial sensors
0242Gyroscopes
G01C 19/5712
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5705using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis
5712the devices involving a micromechanical structure
G01C 19/5747
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5719using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
5733Structural details or topology
574the devices having two sensing masses in anti-phase motion
5747each sensing mass being connected to a driving mass, e.g. driving frames
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • NEUL, Reinhard
  • OHMS, Torsten
  • MAUL, Robert
  • HATTASS, Mirko
  • HOEPPNER, Christian
  • PRUETZ, Odd-Axel
  • SCHMIDT, Benjamin
  • SCHEBEN, Rolf
  • HEUCK, Friedjof
Prioritätsdaten
10 2015 222 943.220.11.2015DE
10 2016 213 877.428.07.2016DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) MIKROMECHANISCHER DREHRATENSENSOR UND BETRIEBSVERFAHREN DESSELBEN
(EN) MICROMECHANICAL YAW RATE SENSOR AND METHOD FOR OPERATING SAME
(FR) CAPTEUR DE VITESSE DE LACET MICROMÉCANIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung schafft einen mikromechanischen Drehratensensor (100) mit einem ersten Coriolis-Element (110), einem ersten Antriebsbalken (113), der entlang dem ersten Coriolis-Element (110) angeordnet und über eine erste Feder (114) an das erste Coriolis-Element (110) gekoppelt ist, sowie einem ersten Antriebselektrodenträger (136, 137), der sich vom ersten Antriebsbalken (113) in der zum ersten Coriolis-Element (120) entgegengesetzten Richtung erstreckt und eine Vielzahl von parallel zum ersten Antriebsbalken (113) verlaufenden ersten Antriebselektroden (138, 139) trägt. Unter einem weiteren Gesichtspunkt wird ein Verfahren zum Betreiben eines derartigen mikromechanischen Drehratensensors (100) bereitgestellt.
(EN)
The invention provides a micromechanical yaw rate sensor (100) having: a first Coriolis element (110); a first drive bar (113) which is provided along the first Coriolis element (110) and is coupled to the first Coriolis element (110) via a first spring (114); and a first drive electrode carrier (136, 137) which extends from the first drive bar (113) in the direction opposite the first Coriolis element (120) and carries a plurality of first drive electrodes (138, 139) extending parallel to the first drive bar (113). According to another aspect, the invention provides a method for operating such a micromechanical yaw rate sensor (100).
(FR)
L’invention concerne un capteur de vitesse de lacet micromécanique (100) comprenant un premier élément à effet de Coriolis (110), une première poutre d'entraînement (113) disposée le long du premier élément à effet de Coriolis (110) et couplée par l’intermédiaire d’un premier ressort (114) au premier élément à effet de Coriolis (110), ainsi qu’un premier support d’électrodes d'entraînement (136, 137) qui s’étend à partir de la première poutre d’entraînement (113) dans la direction opposée au premier élément à effet de Coriolis (110) et qui supporte une pluralité de premières électrodes d’entraînement (138, 139) s’étendant parallèlement à la première poutre d'entraînement (113). Selon un autre aspect, l'invention concerne un procédé de fonctionnement d’un tel capteur de vitesse de lacet micromécanique (100).
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