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1. WO2017072087 - VERFAHREN ZUR IMPEDANZANPASSUNG EINER LAST AN DIE AUSGANGSIMPEDANZ EINES LEISTUNGSGENERATORS UND IMPEDANZANPASSUNGSANORDNUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2017/072087
Veröffentlichungsdatum 04.05.2017
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2016/075597
Internationales Anmeldedatum 25.10.2016
IPC
H01J 37/32 2006.01
HElektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
JElektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
37Entladungsröhren mit Vorkehrung zum Einführen von Gegenständen oder Werkstoffen, die der Entladung ausgesetzt werden sollen, z.B. zur Prüfung oder Bearbeitung derselben
32Gasgefüllte Entladungsröhren
H03H 7/38 2006.01
HElektrotechnik
03Grundlegende elektronische Schaltkreise
HScheinwiderstandsnetzwerke, z.B. Resonanzkreise; Resonatoren
7Mehrtor-Netzwerke mit nur passiven elektrischen Bauelementen
38Widerstandsanpassungsnetzwerke
CPC
H01J 37/32183
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32082Radio frequency generated discharge
32174Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
32183Matching circuits, impedance matching circuits per se H03H7/38 and H03H7/40
H03H 7/38
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
7Multiple-port networks comprising only passive electrical elements as network components
38Impedance-matching networks
Anmelder
  • TRUMPF HÜTTINGER GMBH + CO. KG [DE]/[DE]
Erfinder
  • MAIER, Florian
  • SCHWERG, Nikolai
Vertreter
  • TRUMPF PATENTABTEILUNG
Prioritätsdaten
10 2015 220 847.826.10.2015DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN ZUR IMPEDANZANPASSUNG EINER LAST AN DIE AUSGANGSIMPEDANZ EINES LEISTUNGSGENERATORS UND IMPEDANZANPASSUNGSANORDNUNG
(EN) METHOD FOR ADJUSTING THE IMPEDANCE OF A LOAD TO THE OUTPUT IMPEDANCE OF A POWER GENERATOR AND IMPEDANCE ADJUSTMENT ASSEMBLY
(FR) PROCÉDÉ D’ADAPTATION D’IMPÉDANCE D’UNE CHARGE À L’IMPÉDANCE DE SORTIE D’UN GÉNÉRATEUR DE PUISSANCE ET DISPOSITIF D’ADAPTATION D’IMPÉDANCE
Zusammenfassung
(DE)
Ein Verfahren zur Impedanzanpassung einer Last (28) an die Ausgangsimpedanz eines Leistungsgenerators (40), umfasst die Verfahrensschritte: a. Generieren einer Leistung mittels eines Leistungsgenerators (40); b. Zuführen der Leistung an eine Last (28) über eine Impedanzanpassungsanordnung (10) mit zumindest einer über ein Stellglied (12, 14, 16) veränderbaren Reaktanz (18, 20, 22), wobei die Impedanzanpassungsanordnung (10) die Lastimpedanz (27) am Eingang der Last (18) in eine transformierte Lastimpedanz (29) am Eingang der Impedanzanpassungsanordnung (10) wandelt; c. Erfassen oder Bestimmen einer an der Last (28) reflektierten Leistung oder mindestens einer damit in Beziehung stehenden Größe; d. Anhand der reflektierten Leistung oder der mindestens einen damit in Beziehung stehenden Größe, Überprüfen, ob eine Fehlanpassung vorliegt; e. Bestimmen einer Bahnkurve (50) in einer komplexen Lastebene, insbesondere im Smith-Diagramm (60), nach zumindest einem vorgegebenen Kriterium; f. Steuerung des zumindest einen Stellglieds (12, 14, 16) so, dass die transformierte Lastimpedanz (29) der Bahnkurve (50) folgt.
(EN)
The invention relates to a method for adjusting the impedance of a load (28) to the output impedance of a power generator (40), comprising the following steps : a. generating a power by means of a power generator (40); b. supplying the power to a load (28) via an impedance adjustment assembly (10) with at least one reactance (18, 20, 22) that can be changed via a control element (12, 14, 16), wherein the impedance adjustment assembly (10) converts the load impedance (27) at the input of the load (18) into a transformed load impedance (29) at the input of the impedance adjustment assembly (10); c. detecting or determining a power reflected in the load (28) or at least a variable relating thereto; d. based on the reflected power of the at least one related variable, checking whether a maladjustment has occurred; e. determining a trajectory (50) in a complex load plane, in particular in the Smith chart (60), according to at least one predetermined criterium; f. controlling the at least one control element (12, 14, 16) such that the transformed load impedance (29) follows the trajectory (50).
(FR)
L’invention concerne un procédé d’adaptation d’impédance d’une charge (28) à l'impédance de sortie d'un générateur de puissance (40). Le procédé comprend les étapes consistant à : a. générer une puissance au moyen d’un générateur de puissance (40) ; b. amener la puissance à une charge (28) par le biais d’un circuit d'adaptation d'impédance (10) comportant au moins une réactance (18, 20, 22) variable par le biais d’un élément de réglage (12, 14, 16), le dispositif d'adaptation d'impédance (10) convertissant l'impédance de charge (27) à l'entrée de la charge (18) en une impédance de charge transformée (29) à l'entrée du dispositif d'adaptation d'impédance (10) ; c. détecter ou déterminer la puissance réfléchie par la charge (28) ou au moins une grandeur liée à celle-ci ; d. vérifier sur la base de la puissance réfléchie ou de l’au moins une grandeur liée à celle-ci s'il y a un décalage ; e. déterminer une trajectoire (50) dans un plan de charge complexe, en particulier dans le diagramme de Smith (60), conformément à au moins un critère prédéterminé ; et f. commander l’au moins un élément de réglage (12, 14, 16) de telle sorte que l'impédance de charge transformée (29) suive la trajectoire (50).
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