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1. (WO2017013253) VORRICHTUNG ZUR HANDHABUNG VON FLACHEN SUBSTRATEN

Pub. No.:    WO/2017/013253    International Application No.:    PCT/EP2016/067556
Publication Date: Fri Jan 27 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Sat Jul 23 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 21/683
Applicants: ASYS AUTOMATISIERUNGSSYSTEME GMBH
Inventors: ALLGAIER, Peter
WANKA, Harald
DREWS, Matthias
MANG, Klaus
Title: VORRICHTUNG ZUR HANDHABUNG VON FLACHEN SUBSTRATEN
Abstract:
Die Erfindung betrifft Vorrichtung (1) zur Handhabung von flachen Substraten (2), insbesondere Leiterplatten, Wavern oder Solarzellen, mit wenigstens einen Saugkopf (4) zum Halten eines Substrats (2), wobei der Saugkopf (4) ein ringförmiges Kontaktelement (6) zum Auflegen auf das Substrat (2) aufweist, und mit einer mit dem Saugkopf (4) wirkverbundenen Vakuumeinrichtung (11) zum Erzeugen eines Unterdrucks in einem Saugraum (12) zwischen dem Saugkopf (4) und dem Substrat (2). Es ist vorgesehen, dass der ringförmige Verlauf des Kontaktelements (6) einer Außenrandkontur des Substrats (2) entspricht.