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1. (WO2017013211) ELEKTRODENANORDNUNG UND PLASMAQUELLE ZUR ERZEUGUNG EINES NICHT-THERMISCHEN PLASMAS SOWIE EIN VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER PLASMAQUELLE

Pub. No.:    WO/2017/013211    International Application No.:    PCT/EP2016/067418
Publication Date: Fri Jan 27 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Fri Jul 22 01:59:59 CEST 2016
IPC: H05H 1/24
Applicants: TERRAPLASMA GMBH
Inventors: MORFILL, Gregor
SHIMIZU, Tetsuji
LI, Yangfang
Title: ELEKTRODENANORDNUNG UND PLASMAQUELLE ZUR ERZEUGUNG EINES NICHT-THERMISCHEN PLASMAS SOWIE EIN VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER PLASMAQUELLE
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Elektrodenanordnung (5) zur Erzeugung eines nicht-thermischen Plasmas, mit einer ersten Elektrode (7) und einer zweiten Elektrode (9), die durch ein dielektrisches Element (11) elektrisch voneinander isoliert und voneinander beabstandet sind. Es ist vorgesehen, dass die erste Elektrode (7) - in Richtung der Beabstandung der Elektroden (7, 9) voneinander gesehen - eine Dicke von mindestens 10 μm aufweist, wobei die zweite Elektrode (9) - in Richtung der Beabstandung der Elektroden (7, 9) voneinander gesehen - eine Dicke von mindestens 1 μm bis höchstens 5 μm oder eine Dicke von mindestens 5 μm bis höchstens 30 μm aufweist, und wobei das dielektrische Element (11) eine Dicke von mindestens 10 μm bis höchstens 250 μm aufweist.