Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen

1. (WO2017012945) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VIELZAHL VON HALBLEITERCHIPS UND STRAHLUNGSEMITTIERENDER HALBLEITERCHIP

Pub. No.:    WO/2017/012945    International Application No.:    PCT/EP2016/066626
Publication Date: Fri Jan 27 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Thu Jul 14 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 33/00
Applicants: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventors: HÖPPEL, Lutz
MOLNAR, Attila
Title: VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VIELZAHL VON HALBLEITERCHIPS UND STRAHLUNGSEMITTIERENDER HALBLEITERCHIP
Abstract:
Es wird unter anderem ein Verfahren zur Herstellung einer Vielzahl von Halbleiterchips angegeben, umfassend die folgende Schritte: -Bereitstellen eines Substrats (1), -Aufbringen einer Halbleiterschichtenfolge (2) auf das Substrat (1), -Erzeugen einer Vielzahl von Ausnehmungen (6) in der Halbleiterschichtenfolge (2) von der dem Substrat (1) abgewandten Seite der Halbleiterschichtenfolge (2), -Ablösen des Substrats (1) von der Halbleiterschichtenfolge (2), -Dünnen der Halbleiterschichtenfolge (2) von der dem Substrat (1) vor dem Ablösen des Substrats (1) zugewandten Seite.