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1. (WO2017012749) MEMS DREHRATENSENSOR MIT KOMBINIERTEM ANTRIEB UND DETEKTION
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

Veröff.-Nr.: WO/2017/012749 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2016/061720
Veröffentlichungsdatum: 26.01.2017 Internationales Anmeldedatum: 24.05.2016
IPC:
G01C 19/5719 (2012.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
C
Messen von Entfernungen, Höhen, Neigungen oder Richtungen; Geodäsie; Navigation; Kreiselgeräte; Fotogrammmetrie oder Videogrammmetrie
19
Kreiselgeräte; drehempfindliche Vorrichtungen, die schwingende Massen nutzen; drehempfindliche Vorrichtungen ohne bewegliche Massen; Messen der Winkelgeschwindigkeit unter Benutzung von Kreiseleffekten
56
Drehempfindliche Vorrichtungen, die schwingende Massen nutzen, z.B. schwingende Winkelgeschwindigkeitssensoren, die auf Grundlage der Corioliskraft arbeiten
5719
die ebene schwingende Massen nutzen, die entlang einer Achse in Form einer Translationsschwingung bewegt werden
Anmelder:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Erfinder:
WELLNER, Patrick; DE
KUHLMANN, Burkhard; DE
HATTASS, Mirko; DE
Prioritätsdaten:
10 2015 213 450.417.07.2015DE
Titel (EN) MEMS ROTATION RATE SENSOR COMPRISING COMBINED DRIVE AND DETECTION
(FR) CAPTEUR DE VITESSE DE ROTATION MEMS À ENTRAÎNEMENT ET DÉTECTION COMBINÉS
(DE) MEMS DREHRATENSENSOR MIT KOMBINIERTEM ANTRIEB UND DETEKTION
Zusammenfassung:
(EN) Proposed is a rotation rate sensor comprising a substrate which has a main plane of extension and at least one structure that can move relative to the substrate, wherein the structure can be excited from a resting position of the structure to an oscillation with a movement component substantially parallel to a drive direction substantially parallel to the main plane of extension, wherein the rotation rate sensor comprises at least one comb electrode that moves concomitantly with the structure and at least one comb electrode which is stationary relative to the substrate, in order to excite the oscillation, wherein the excitation can be brought about by applying a voltage to the concomitantly moved comb electrode and/or the stationary comb electrode, wherein the concomitantly moved and the stationary comb electrodes are designed such that a force acting on the structure with a force component along a detection direction substantially perpendicular to the drive direction can be detected on the basis of a rotation rate of the rotation rate sensor about an axis extending substantially perpendicular to the drive direction and substantially perpendicular to the detection direction.
(FR) L'invention concerne un capteur de vitesse de rotation comprenant un substrat présentant un plan d'étendue principal et comprenant au moins une structure mobile par rapport au substrat. La structure peut être excitée sensiblement parallèlement au plan d'étendue principal à partir d'une position de repos de celle-ci pour produire une vibration présentant une composante de déplacement sensiblement parallèle à une direction d'entrainement. Pour l'excitation de la vibration, le capteur de vitesse de rotation comporte au moins une électrode en peigne déplacée conjointement avec la structure et au moins une électrode en peigne fixe par rapport au substrat. L'excitation peut être provoquée en soumettant l'électrode en peigne déplacée conjointement et/ou l'électrode en peigne fixe à une tension. L'électrode en peigne déplacée conjointement et l'électrode en peigne fixe sont réalisées de telle sorte qu'une action de force sur la structure avec une composante de force le long d'une direction de détection sensiblement perpendiculaire à la direction d'entraînement en raison d'une vitesse de rotation du capteur de vitesse de rotation autour d'un axe s'étendant sensiblement perpendiculairement à la direction d'entraînement et sensiblement perpendiculairement à la direction de détection peut être détectée.
(DE) Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat mit einer Haupterstreckungsebene und mit mindestens einer gegenüber dem Substrat beweglichen Struktur vorgeschlagen, wobei die Struktur aus einer Ruhelage der Struktur zu einer Schwingung mit einer Bewegungskomponente im Wesentlichen parallel zu einer Antriebsrichtung im Wesentlichen parallel zu der Haupterstreckungsebene anregbar ist, wobei der Drehratensensor zur Anregung der Schwingung mindestens eine mit der Struktur mitbewegte Kammelektrode und mindestens eine relativ zum Substrat feststehende Kammelektrode umfasst, wobei durch Spannungsbeaufschlagung der mitbewegten Kammelektrode und/oder der feststehenden Kammelektrode die Anregung bewirkbar ist, wobei die mitbewegte Kammelektrode und die feststehende Kammelektrode derart ausgebildet sind, dass eine Kraftwirkung auf die Struktur mit einer Kraftkomponente entlang einer Detektionsrichtung im Wesentlichen senkrecht zu der Antriebsrichtung aufgrund einer Drehrate des Drehratensensors um eine im Wesentlichen senkrecht zu der Antriebsrichtung und im Wesentlichen senkrecht zu der Detektionsrichtung verlaufenden Achse detektierbar ist.
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Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)