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1. (WO2017012747) DREHRATENSENSOR UND BETRIEB EINES DREHRATENSENSORS BEI VERSCHIEDENEN FREQUENZEN UND IN VERSCHIEDENEN RICHTUNGEN

Pub. No.:    WO/2017/012747    International Application No.:    PCT/EP2016/061713
Publication Date: Fri Jan 27 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Wed May 25 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01C 19/5733
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH
Inventors: LASSL, Andreas
KUHLMANN, Burkhard
BALSLINK, Thorsten
Title: DREHRATENSENSOR UND BETRIEB EINES DREHRATENSENSORS BEI VERSCHIEDENEN FREQUENZEN UND IN VERSCHIEDENEN RICHTUNGEN
Abstract:
Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat mit einer Haupterstreckungsebene und mit einer gegenüber dem Substrat beweglichen Struktur vorgeschlagen, wobei der Drehratensensor eine erste Anregungseinheit zum Auslenken der Struktur aus einer Ruhelage im Wesentlichen parallel zu einer parallel zu der Haupterstreckungsebene verlaufenden ersten Achse derart umfasst, dass die Struktur zu einer Schwingung bei einer ersten Frequenz mit einer Bewegungskomponente im Wesentlichen entlang einer Richtung parallel zu der ersten Achse anregbar ist, wobei der Drehratensensor eine zweite Anregungseinheit zum Auslenken der Struktur aus einer Ruhelage im Wesentlichen parallel zu einer parallel zu der Haupterstreckungsebene verlaufenden und senkrecht zu der ersten Achse verlaufenden zweiten Achse derart umfasst, dass die Struktur zu einer Schwingung bei einer zweiten Frequenz mit einer Bewegungskomponente im Wesentlichen entlang einer Richtung parallel zu der zweiten Achse anregbar ist.