Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen

1. (WO2017012746) HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINE MIKROMECHANISCHE FENSTERSTRUKTUR UND ENTSPRECHENDE MIKROMECHANISCHE FENSTERSTRUKTUR

Pub. No.:    WO/2017/012746    International Application No.:    PCT/EP2016/061706
Publication Date: Fri Jan 27 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Wed May 25 01:59:59 CEST 2016
IPC: B81C 1/00
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH
Inventors: STRAUB, Rainer
PINTER, Stefan
MUCHOW, Joerg
Title: HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINE MIKROMECHANISCHE FENSTERSTRUKTUR UND ENTSPRECHENDE MIKROMECHANISCHE FENSTERSTRUKTUR
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für eine mikromechanische Fensterstruktur mit den Schritten: Bereitstellen eines Substrats (1), wobei das Substrat (1) eine Vorderseite (4) und eine Rückseite (5) aufweist; Bilden einer ersten Ausnehmung (6) an der Vorderseite (4); Ausbilden einer Beschichtung (8; 8', 8") auf der Vorderseite (4) und auf der ersten Ausnehmung (6); und Bilden einer zweiten Ausnehmung (7) an der Rückseite (5), so dass die Beschichtung (8) zumindest bereichsweise freigelegt wird, wodurch ein Fenster (F) durch den freigelegten Bereich der Beschichtungen gebildet wird.