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1. (WO2017012745) DREHRATENSENSOR MIT MEHRFACHER AUSWERTUNG ÜBER BETRIEB BEI MEHREREN FREQUENZEN

Pub. No.:    WO/2017/012745    International Application No.:    PCT/EP2016/061704
Publication Date: Fri Jan 27 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Wed May 25 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01C 19/5726
G01C 19/574
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH
Inventors: KUHLMANN, Burkhard
BALSLINK, Thorsten
Title: DREHRATENSENSOR MIT MEHRFACHER AUSWERTUNG ÜBER BETRIEB BEI MEHREREN FREQUENZEN
Abstract:
Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat mit einer Haupterstreckungsebene und mit mindestens einer gegenüber dem Substrat beweglichen ersten Struktur und mit mindestens einer gegenüber dem Substrat und gegenüber der ersten Struktur beweglichen zweiten Struktur und mit mindestens einer gegenüber dem Substrat und gegenüber der ersten Struktur und gegenüber der zweiten Struktur beweglichen dritten Struktur und mit mindestens einer gegenüber dem Substrat und gegenüber der ersten Struktur und gegenüber der zweiten Struktur und gegenüber der dritten Struktur beweglichen vierten Struktur vorgeschlagen, wobei der Drehratensensor eine Antriebseinrichtung zur Auslenkung der ersten Struktur aus einer Ruhelage der ersten Struktur im Wesentlichen parallel zu einer Antriebsrichtung und zur Auslenkung der zweiten Struktur aus einer Ruhelage der zweiten Struktur im Wesentlichen parallel zu der Antriebsrichtung und zur Auslenkung der dritten Struktur aus einer Ruhelage der dritten Struktur im Wesentlichen parallel zu der Antriebsrichtung und zur Auslenkung der vierten Struktur aus einer Ruhelage der vierten Struktur im Wesentlichen parallel zu der Antriebsrichtung derart umfasst, dass die erste Struktur und die vierte Struktur zu einer zueinander im Wesentlichen gleichphasigen Schwingung und zu der zweiten Struktur und zu der dritten Struktur zu einer im Wesentlichen gegenphasigen Schwingung bei einer ersten Frequenz anregbar sind, wobei die erste Struktur und die zweite Struktur zu einer zueinander im Wesentlichen gleichphasigen Schwingung und zu der dritten Struktur und zu der vierten Struktur zu einer im Wesentlichen gegenphasigen Schwingung bei einer zweiten Frequenz anregbar sind.