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1. (WO2017012733) VERFAHREN ZUM SCHMELZEN VON FESTEM SILIZIUM

Pub. No.:    WO/2017/012733    International Application No.:    PCT/EP2016/061025
Publication Date: Fri Jan 27 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Wed May 18 01:59:59 CEST 2016
IPC: C30B 15/14
C30B 29/06
C30B 35/00
Applicants: SILTRONIC AG
Inventors: DO, Quoc Thai
BUSCHHARDT, Thomas
ZEMKE, Dirk
Title: VERFAHREN ZUM SCHMELZEN VON FESTEM SILIZIUM
Abstract:
Verfahren zum Schmelzen von festem Silizium, umfassend das Beladen eines Tiegels mit festem Silizium, wobei mindestens ein Teil davon körniges polykristallines Silizium ist; das Erhitzen des Tiegels, um das im Tiegel enthaltene feste Silizium zu schmelzen; und das Behindern des Abstrahlens von Wärmestrahlung durch eine obere Öffnung des Tiegels während des Schmelzens des festen Siliziums; und das Erleichtern des Abstrahlens von Wärmestrahlung durch die obere Öffnung des Tiegels, nachdem das feste Silizium zu einer Schmelze geworden ist.