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1. (WO2017009185) SPIEGEL, INSBESONDERE FÜR EINE MIKROLITHOGRAPHISCHE PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE

Pub. No.:    WO/2017/009185    International Application No.:    PCT/EP2016/066178
Publication Date: Fri Jan 20 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Fri Jul 08 01:59:59 CEST 2016
IPC: G03F 7/20
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH
DIER, Oliver
HILD, Kerstin
ENKISCH, Hartmut
KALISKY, Matus
Inventors: DIER, Oliver
HILD, Kerstin
ENKISCH, Hartmut
KALISKY, Matus
Title: SPIEGEL, INSBESONDERE FÜR EINE MIKROLITHOGRAPHISCHE PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE
Abstract:
Die Erfindung betrifft einen Spiegel, insbesondere für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage, wobei der Spiegel eine optische Wirkfläche aufweist, mit einem Spiegelsubstrat (205, 305), einer Reflexionsschicht (220, 320), welche derart ausgestaltet ist, dass der Spiegel für elektromagnetische Strahlung einer vorgegebenen Arbeitswellenlänge, welche auf die optische Wirkfläche (200a, 300a) unter einem auf die jeweilige Oberflächennormale bezogenen Einfallswinkel von wenigstens 65° auftrifft, eine Reflektivität von wenigstens 50% besitzt, und einer Substratschutzschicht (210, 310), welche zwischen dem Spiegelsubstrat (205, 305) und der Reflexionsschicht (220, 320) angeordnet ist, wobei die Substratschutzschicht (210, 310) für EUV-Strahlung eine Transmission von weniger als 0.1% aufweist.