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1. (WO2017005912) VERFAHREN ZUR STEUERUNG EINER STRAHLFÜHRUNGSVORRICHTUNG UND STRAHLFÜHRUNGSVORRICHTUNG
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Veröff.-Nr.: WO/2017/005912 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2016/066310
Veröffentlichungsdatum: 12.01.2017 Internationales Anmeldedatum: 08.07.2016
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7
Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20
Belichten; Vorrichtungen dafür
Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH[DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE
Erfinder: PATRA, Michael; DE
Vertreter: RAU, SCHNECK & HÜBNER PATENTANWÄLTE RECHTSANWÄLTE PARTGMBB; Königstrasse 2 90402 Nürnberg, DE
Prioritätsdaten:
10 2015 212 878.409.07.2015DE
Titel (EN) METHOD FOR CONTROLLING A BEAM GUIDING DEVICE, AND BEAM GUIDING DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE COMMANDE D'UN DISPOSITIF DE GUIDAGE DE FAISCEAU ET DISPOSITIF DE GUIDAGE DE FAISCEAU
(DE) VERFAHREN ZUR STEUERUNG EINER STRAHLFÜHRUNGSVORRICHTUNG UND STRAHLFÜHRUNGSVORRICHTUNG
Zusammenfassung:
(EN) Illumination radiation (5) emitted by different radiation sources (4i) can be guided towards different scanners (3i) by means of a beam guiding device (28).
(FR) Dispositif de guidage de faisceau (28) au moyen duquel un faisceau d'éclairage (5) provenant de différentes sources de faisceau (4i) peut être dévié vers différents scanners (3i).
(DE) Mittels einer Strahlfuhrungsvorrichtung (28) kann Beleuchtungsstrahlung (5) von unterschiedlichen Strahlungsquellen (4i) zu unterschiedlichen Scannern (3i) gelenkt werden.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)