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1. (WO2017005404) SENSORVORRICHTUNG ZUM MESSEN EINER FLUIDKONZENTRATION UND VERWENDUNG DER SENSORVORRICHTUNG

Pub. No.:    WO/2017/005404    International Application No.:    PCT/EP2016/061734
Publication Date: Fri Jan 13 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Thu May 26 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01N 21/3504
G01N 21/31
G01J 3/36
G01J 5/06
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH
Inventors: BRUECKNER, Timon
FRIEDRICH, Thomas
SCHWARZ, Mike
Title: SENSORVORRICHTUNG ZUM MESSEN EINER FLUIDKONZENTRATION UND VERWENDUNG DER SENSORVORRICHTUNG
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung mit: einer in einem zumindest teilweise geschlossenen Probenraum (400) befindlichen Absorptionsstrecke (408) zum Aufnehmen eines zu analysierenden Fluids; einer an einem Ende der Absorptionsstrecke (408) befindlichen Strahlungsquelle (405) zum Aussenden von Infrarotstrahlung in die Absorptionsstrecke (408); wobei die in die Absorptionsstrecke (408) ausgesendete Infrarotstrahlung auf eine Oberseite (409a) einer am anderen Ende der Absorptionsstrecke (408) befindlichen Sensoreinheit (409) richtbar ist; wobei die Sensoreinheit (409) aufweist: eine Vielzahl von Pixelanordnungen (102, 103) mit jeweils mindestens einem Pixel, welche an einer Substratoberseite (101a) eines an einer Unterseite (409b) der Sensoreinheit befindlichen Substrats (101) angeordnet sind, eine an der Substratoberseite (101a) angeordnete Kappe (104), welche die Pixelanordnungen (102, 103) überdeckt, wobei eine Kaverne (105) zwischen der Substratoberseite (101a) und der Kappe (104) gebildet ist; eine Vielzahl von Filtern (106, 107), welche für sich zumindest teilweise unterscheidende Wellenlängenbereiche durchlässig sind, wobei jedem Filter (106, 107) genau eine Pixelanordnung (102,103) zugeordnet ist, und wobei die Filter (106, 107) derart auf der Kappe (104) angeordnet sind, dass die durch die Absorptionsstrecke (408) und die Oberseite (409a) der Sensoreinheit propagierte Infrarotstrahlung durch das jeweilige Filter (106, 107) von der dem jeweiligen Filter (106, 107) zugeordneten Pixelanordnung (102, 103) detektierbar ist; und wobei auf einem nicht von den Filtern (106, 107) bedeckten Teil der Kappe (104) zumindest abschnittsweise eine Beschichtung (201; 301) aus einem lichtabsorbierenden und/oder lichtreflektierenden Material ausgebildet ist.