In Bearbeitung

Bitte warten ...

Einstellungen

Einstellungen

Gehe zu Anmeldung

1. WO2016169694 - SERVICEEINRICHTUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2016/169694
Veröffentlichungsdatum 27.10.2016
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2016/054975
Internationales Anmeldedatum 09.03.2016
IPC
H01L 21/677 2006.01
HSektion H Elektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
LHalbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
677zum Transportieren oder Fördern, z.B. zwischen verschiedenen Bearbeitungsstationen
CPC
B65G 1/026
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
1Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
02Storage devices
026Racks equipped with a displaceable load carrying surface to facilitate loading or unloading
G03F 7/70
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
70Exposure apparatus for microlithography
H01L 21/67709
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67703between different workstations
67709using magnetic elements
H01L 21/67733
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67703between different workstations
67733Overhead conveying
Anmelder
  • INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • WEISKE, Ingo
  • EVERS, Arndt
  • HARTGERS, Han
  • BIRKNER, Andreas
  • VAN LOON, Guido
Vertreter
  • BLUMBACH ZINNGREBE
Prioritätsdaten
15164605.622.04.2015EP
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) SERVICEEINRICHTUNG
(EN) SERVICE CART
(FR) DISPOSITIF D'ENTRETIEN
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft eine Serviceeinrichtung für den Reinraum oder für Anlagen im Reinraum mit einem horizontal und vertikal verfahrbarem Anlagenteil. Dieser ist an Magnetschienen aufgehängt.
(EN)
The invention relates to a service cart for a clean room or for systems in the clean room comprising a system part which can be moved horizontally and vertically. Said system part is suspended on magnetic rails.
(FR)
L'invention concerne un dispositif d'entretien pour la salle blanche ou pour des installations dans la salle blanche, munies d'un élément déplaçable horizontalement et verticalement. Ce dernier est suspendu à des rails magnétiques.
Auch veröffentlicht als
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten