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1. WO2016169664 - VERFAHREN ZUR TIEFENBESTIMMUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2016/169664
Veröffentlichungsdatum 27.10.2016
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2016/050372
Internationales Anmeldedatum 11.01.2016
IPC
G01B 11/24 2006.01
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
BMessen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
24zum Messen von Umrisslinien oder Krümmungen
G01B 11/25 2006.01
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
BMessen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
24zum Messen von Umrisslinien oder Krümmungen
25durch Projizieren eines Musters, z.B. Moiré-Streifen, auf den Gegenstand
G01B 9/02 2006.01
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
BMessen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
9Instrumente wie in den Untergruppen aufgeführt und gekennzeichnet durch die Verwendung von optischen Messmitteln
02Interferometer
CPC
G01B 11/24
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
G01B 11/2441
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
2441using interferometry
G01B 11/25
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
25by projecting a pattern, e.g. ; one or more lines,; moiré fringes on the object
G01B 11/254
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
25by projecting a pattern, e.g. ; one or more lines,; moiré fringes on the object
254Projection of a pattern, viewing through a pattern, e.g. moiré
G01B 9/02007
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02001characterised by manipulating or generating specific radiation properties
02007Two or more frequencies or sources used for interferometric measurement
G01B 9/02027
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02015characterised by a particular beam path configuration
02027Two or more interferometric channels or interferometers
Anmelder
  • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE]/[DE]
Erfinder
  • SCHICK, Anton
Prioritätsdaten
10 2015 207 328.922.04.2015DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN ZUR TIEFENBESTIMMUNG
(EN) METHOD FOR DETERMINING DEPTH
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DE PROFONDEUR
Zusammenfassung
(DE)
Es wird ein Interferometrisches Verfahren zur Tiefenbestimmung eines Objektes (10) vorgeschlagen, welches das Bereitstellen einer Erfassungsvorrichtung (2), einer Rechenvorrichtung (3) und einer Projektionsvorrichtung (4), die wenigstens eine erste kohärente Lichtquelle (41) und eine zu dieser inkohärente zweite kohärente Lichtquelle (42) umfasst. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung (1) zur Durchführung des Verfahrens.
(EN)
The invention relates to an interferometric method for determining the depth of an object (10). Said method comprises the step of providing a detection device (2), a calculation device (3) and a projection device (4) which comprise at least one first coherent light source (41) and a second coherent light source (42) which is incoherent to said first coherent light source. The invention also relates to a device (1) for carrying out said method.
(FR)
L'invention concerne un procédé interférométrique destiné à la détermination de profondeur d'un objet (10), comprenant les étapes consistant à prendre un dispositif de détection (2), un dispositif informatique (3) et un dispositif de projection (4) qui comporte au moins une première source lumineuse cohérente (41) et une deuxième source lumineuse (42) incohérente par rapport à cette dernière. L'invention concerne également un dispositif de mise en oeuvre du procédé.
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