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1. (WO2016150757) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES REFLEKTIVEN OPTISCHEN ELEMENTS UND REFLEKTIVES OPTISCHES ELEMENT

Pub. No.:    WO/2016/150757    International Application No.:    PCT/EP2016/055526
Publication Date: Fri Sep 30 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Wed Mar 16 00:59:59 CET 2016
IPC: C25D 1/06
C25D 1/20
C25D 15/00
G02B 5/00
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH
Inventors: BINGEL, Ulrich
BAUER, Markus
SHKLOVER, Vitaliy
Title: VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES REFLEKTIVEN OPTISCHEN ELEMENTS UND REFLEKTIVES OPTISCHES ELEMENT
Abstract:
Zur Herstellung eines reflektiven optischen Elements mit einem Grundkörper, das filigran und dennoch hinreichend formstabil ist, wird ein Verfahren vorgeschlagen mit den Schritten: - Bereitstellen eines Abformkörpers mit einer Oberfläche, die der Geometrie des reflektiven optischen Elements entspricht; - Aufbringen eines Schichtsystems mit mindestens einer Trennschicht auf der Oberfläche des Abformkörpers; - Elektroformen eines Grundkörpers auf dem Schichtsystem; und - Ablösen des Grundkörpers vom Abformkörper an der mindestens einen Trennschicht, dadurch gekennzeichnet, dass beim Elektroformen des Grundkörpers eine erste Grundkörperschicht aus nicht-dispersionsverstärktem Material und anschließend eine zweite Grundkörperschicht aus dispersionsverstärktem Metall abgeschieden wird.