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1. (WO2016142356) VORRICHTUNGEN ZUR ABSCHEIDUNG DÜNNER SCHICHTEN AUF EINER LAUFENDEN FOLIENBAHN SOWIE FOLIENBAHN ODER ZUSCHNITTE DARAUS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2016/142356    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2016/054830
Veröffentlichungsdatum: 15.09.2016 Internationales Anmeldedatum: 07.03.2016
IPC:
C23C 16/455 (2006.01), C23C 16/54 (2006.01), C23C 16/52 (2006.01), G01N 15/08 (2006.01)
Anmelder: FOFITEC AG [CH/CH]; Hemmbrunnstrasse 4 5605 Dottikon (CH)
Erfinder: FISCHER, Jules; (CH).
BERNHARD, Andreas; (CH)
Vertreter: RENTSCH PARTNER AG; Fraumünsterstrasse 9 8022 Zürich (CH)
Prioritätsdaten:
310/15 06.03.2015 CH
Titel (DE) VORRICHTUNGEN ZUR ABSCHEIDUNG DÜNNER SCHICHTEN AUF EINER LAUFENDEN FOLIENBAHN SOWIE FOLIENBAHN ODER ZUSCHNITTE DARAUS
(EN) DEVICES FOR DEPOSITING THIN LAYERS ON A RUNNING FILM WEB, AND FILM WEB OR CUTS THEREOF
(FR) DISPOSITIFS POUR LE DÉPÔT DE COUCHES MINCES SUR UNE BANDE DE FILM ROTATIVE ET BANDE DE FILM OU PIÈCES DÉCOUPÉES À PARTIR DE CELLE-CI
Zusammenfassung: front page image
(DE)Gegenstand der Erfindung sind Vorrichtungen zur Abscheidung dünner Schichten durch wenigstens zwei selbstbegrenzende Oberflächenreaktionen (ALD/MLD) unter erhöhter Temperatur auf einer unter Zugspannung stehenden, laufenden Folienbahn (FB), wobei die Vorrichtung mindestens eine Beschichtungsstrecke (10) und entlang dieser Beschichtungsstrecke (10) mehrere Zuführungs- und Ableitungsbereiche (13, 15, 17; 18) für Reaktions- und Spülgas aufweist. Erfindungsgemäss ist vorgesehen, dass sie eine von der durch den Beschichtungsvorgang noch erhitzten Folienbahn (FB) durchlaufende Messvorrichtung (40) zur Ermittlung der Sauerstoffoder Stickstoff- oder Wasserdampfdurchlässigkeit der Folienbahn (FB) und der auf ihr abgeschiedenen dünnen Schichten (B) umfasst. Gegenstand der Erfindung ist auch eine mit einer solchen Vorrichtung ermittelten oder daraus abgeleiteten Sauerstoff-, Stickstoff- und/oder Wasserdampfdurchlässigkeitswerten beschriftete und/oder codierte Folienbahn (FB) oder sind Zuschnitte daraus.
(EN)The invention relates to devices for depositing thin layers on a running film web (FB) under tensile stress and at an increased temperature using at least two self-limiting surface reactions (ALD/MLD). The device has at least one coating section (10) and multiple supply and discharge regions (13, 15, 17:18) along the coating section (10) for a reaction and flushing gas. According to the invention, the device comprises a measuring device (40) through which the film web (FB) that is still heated as a result of the coating process runs for ascertaining the oxygen- or nitrogen- or water vapor-permeability of the film web (FB) and of the thin layers (B) deposited on the film web. The invention also relates to a film web (FB) or cuts thereof labeled and/or coded with oxygen- or nitrogen- or water vapor-permeability values which are ascertained by such a device or derived therefrom.
(FR)L'invention concerne des dispositifs pour le dépôt de couches minces grâce à au moins deux réactions de surface auto-restrictives (ALD/MLD) à température élevée sur une bande de film (FB) rotative et se trouvant sous tension de traction, le dispositif présentant au moins une distance de revêtement (10) et, le long de cette distance de revêtement (10), plusieurs zones d'amenée et de sortie (13, 15, 17; 18) pour un gaz de réaction et de lavage. L'invention est conçue pour comprendre un dispositif de mesure (40) parcourant une bande de film (FB) encore chauffée par l'opération de revêtement afin de déterminer la perméabilité à la vapeur d'eau, à l'oxygène ou à l'azote de la bande de film (FB) et des couches minces (B) déposées par dessus. L'invention concerne également une bande de film (FB) portant des inscriptions et/ou des codes indiquant les valeurs de perméabilité à l'oxygène, à l'azote et/ou à la vapeur d'eau déterminées par un tel dispositif ou qui en sont dérivées ou bien des pièces découpées à partir de celle-ci.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)