EP2016054398 ANORDNUNG ZUR ORTSAUFGELÖSTEN BESTIMMUNG DES SPEZIFISCHEN ELEKTRISCHEN WIDERSTANDS UND/ODER DER SPEZIFISCHEN ELEKTRISCHEN LEITFÄHIGKEIT VON PROBEN

1. (WO2016139233) ANORDNUNG ZUR ORTSAUFGELÖSTEN BESTIMMUNG DES SPEZIFISCHEN ELEKTRISCHEN WIDERSTANDS UND/ODER DER SPEZIFISCHEN ELEKTRISCHEN LEITFÄHIGKEIT VON PROBEN

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Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Übersetzung: Original-->Deutsch

Veröff.-Nr.:		WO/2016/139233		Internationale Anmeldenummer		PCT/EP2016/054398
Veröffentlichungsdatum:		09.09.2016		Internationales Anmeldedatum:		02.03.2016

IPC:

G01N 21/84 (2006.01), G01R 27/26 (2006.01)

Anmelder:

FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastraße 27c 80686 München (DE)

Erfinder:

WOLLMANN, Philipp; (DE).
GRAEHLERT, Wulf; (DE).
WEISSENBORN, Eric; (DE)

Vertreter:

PFENNING, MEINIG & PARTNER MBB; An der Frauenkirche 20 01067 Dresden (DE)

Prioritätsdaten:

10 2015 203 807.6		03.03.2015		DE
10 2015 208 026.9		30.04.2015		DE

Titel

(DE) ANORDNUNG ZUR ORTSAUFGELÖSTEN BESTIMMUNG DES SPEZIFISCHEN ELEKTRISCHEN WIDERSTANDS UND/ODER DER SPEZIFISCHEN ELEKTRISCHEN LEITFÄHIGKEIT VON PROBEN
(EN) ARRANGEMENT FOR SPATIALLY RESOLVED DETERMINATION OF THE SPECIFIC ELECTRICAL RESISTANCE AND/OR THE SPECIFIC ELECTRICAL CONDUCTIVITY OF SAMPLES
(FR) AGENCEMENT POUR LA DÉTERMINATION À RÉSOLUTION SPATIALE DE LA RÉSISTANCE ÉLECTRIQUE SPÉCIFIQUE ET/OU DE LA CONDUCTIBILITÉ ÉLECTRIQUE SPÉCIFIQUE D'ÉCHANTILLONS

Zusammenfassung:

(DE)Anordnung zur ortsaufgelösten Bestimmung des spezifischen elektrischen Widerstandes und/oder der spezifischen elektrischen Leitfähigkeit einer Probe an unterschiedlichen Positionen, bei der mehrere Detektoren zur ortsaufgelösten spektralen Analyse elektromagnetischer Strahlung innerhalb eines Wellenlängenintervalls ausgebildet sind. Eine Fläche der Probe wird mit homogener Intensität bestrahlt. Die orts- und wellenlängenaufgelöst erfassten Messsignale der Detektoren innerhalb eines Wellenlängenintervalls werden für jede erfasste Position mit einer wellenlängenaufgelösten Funktion verglichen, wobei die wellenlängenabhängige Funktion durch Berechnung der Ausbreitung elektromagnetischer Strahlung in Mehrschichtsystemen unter Verwendung eines optischen Modells zur physikalischen Beschreibung der untersuchten Probe, unter Berücksichtigung der wellenlängenabhängigen Verläufe der linearen optischen Brechungsindizes (n) und Absorptionskoeffizienten (k) aller, die Probe bildenden, Materialien und/oder Werkstoffe erfolgt. Durch Änderung von Parametern der physikalischen Funktion werden diese iterativ zu einer hinreichenden Deckung mit einem Kalibrierkurvenverlauf gebracht, um den spezifischen elektrischen Widerstand und/oder die spezifische elektrische Leitfähigkeit an verschiedenen Positionen ortsaufgelöst zu bestimmen.
(EN)Arrangement for spatially resolved determination of the specific electrical resistance and/or the specific electrical conductivity of a sample at different positions, with which a plurality of detectors for spatially resolved spectral analysis of electromagnetic radiation within a wavelength interval is configured. A surface of the sample is irradiated with homogeneous intensity. The detected spatially-resolved and wavelength-resolved measurement signals of the detectors, within a wavelength interval, are compared for each detected position with a wavelength-resolved function, wherein the wavelength-dependent function is produced by calculating the propagation of electromagnetic radiation in multi-layer systems using an optical model for physically describing the tested sample, while considering the wavelength-dependent curves of the linear optical refractive indices (n) and absorption coefficients (k) of all materials and/or substances forming the sample. By a change in the parameters of the physical function, same are brought iteratively to sufficient congruence with a calibration curve in order to determine the specific electrical resistance and/or the specific electrical conductivity at different positions in a spatially resolved manner.
(FR)L'invention concerne un agencement pour la détermination à résolution spatiale de la résistance électrique spécifique et/ou de la conductibilité électrique spécifique d'un échantillon en différentes positions, dans lequel sont formés plusieurs détecteurs pour l'analyse spectrale à résolution spatiale d'un rayonnement électromagnétique dans un intervalle de longueurs d'onde. Une surface de l'échantillon est exposé au rayonnement avec une intensité homogène. Les signaux de mesure des détecteurs, détectés avec une résolution spatiale et une résolution de longueurs d'onde, sont comparés dans un intervalle de longueurs d'onde, pour chaque position détectée, à une fonction à résolution de longueurs d'onde, la fonction dépendant de la longueur d'onde étant obtenue par calcul de la propagation d'un rayonnement électromagnétique dans des systèmes multicouches, tout en utilisant un modèle optique pour la description physique de l'échantillon analysé, tout en tenant compte des allures, dépendant de la longueur d'onde, de l'indice de réfraction (n) optique linéaire et des coefficients d'absorption (k) de toutes les matières et/ou tous les matériaux, formant l'échantillon. Par une modification des paramètres de la fonction physique, ceux-ci sont mis suffisamment en congruence, de manière itérative, avec une allure de courbe d'étalonnage pour déterminer avec une résolution spatiale la résistance électrique spécifique et/ou la conductibilité électrique spécifique en différentes positions.

Designierte Staaten:

AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).

Veröffentlichungssprache:	German (DE)
Anmeldesprache:	German (DE)

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