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1. (WO2016087092) OBERFLÄCHENKORREKTUR AN BESCHICHTETEN REFLEKTIVEN OPTISCHEN ELEMENTEN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2016/087092    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2015/073153
Veröffentlichungsdatum: 09.06.2016 Internationales Anmeldedatum: 07.10.2015
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), G02B 5/08 (2006.01), G02B 27/00 (2006.01)
Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE)
Erfinder: STICKEL, Franz-Josef; (DE)
Vertreter: KOHLER SCHMID MÖBUS PATENTANWÄLTE PARTNERSCHAFTSGESELLSCHAFT MBB; Gropiusplatz 10 70563 Stuttgart (DE)
Prioritätsdaten:
10 2014 224 569.9 02.12.2014 DE
Titel (DE) OBERFLÄCHENKORREKTUR AN BESCHICHTETEN REFLEKTIVEN OPTISCHEN ELEMENTEN
(EN) SURFACE CORRECTION ON COATED REFLECTIVE OPTICAL ELEMENTS
(FR) CORRECTION DE SURFACE SUR DES ÉLÉMENTS OPTIQUES RÉFLÉCHISSANTS ET REVÊTUS
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Korrigieren einer Oberflächenform eines reflektiven optischen Elements (1), welches ein Substrat (2) und eine reflektive Beschichtung (3) aufweist, wobei das Verfahren mindestens den folgenden Schritt umfasst: Korrigieren der Oberflächenform (5) durch Erzeugeneiner dauerhaften lokalen Formvariation (10) in mindestens einer verformbaren Schicht (7), die zwischen dem Substrat (2) und der reflektiven Beschichtung (3) angeordnet ist und die eine magnetische Formgedächtnislegierung aufweist, wobei die dauerhafte lokale Formvariation (10) durch das Anlegen eines elektromagnetischen Feldes, insbesondere eines Magnetfeldes (9), an die mindestens eine verformbare Schicht (7) erzeugt wird. Die Erfindung betrifft auch ein reflektives optisches Element (1), umfassend: ein Substrat (2), eine reflektive Beschichtung (3) sowie mindestens eine zwischen dem Substrat (2) und der reflektiven Beschichtung (3) angeordnete verformbare Schicht (7), die eine magnetische Formgedächtnislegierung aufweist.
(EN)The invention relates to a method for correcting a surface shape of a reflective optical element (1) which has a substrate (2) and a reflective coating (3), wherein the method comprises at least the following step: correcting the surface shape (5) by generating a permanent local shape variation (10) in at least one deformable layer (7) which is arranged between the substrate (2) and the reflective coating (3), and which has a magnetic shape memory alloy, wherein the permanent local shape variation (10) is generated by applying an electromagnetic field, in particular a magnetic field (9), to the at least one deformable layer (7). The invention also relates to a reflective optical element (1) comprising a substrate (2), a reflective coating (3), and at least one deformable layer (7) arranged between the substrate (2) and the reflective coating (3), and having a magnetic shape memory alloy.
(FR)L'invention concerne un procédé permettant de corriger la forme de la surface d'un élément optique réfléchissant (1) présentant un substrat (2) et un revêtement réfléchissant (3). Le procédé comprend au moins l'étape suivante: correction de la forme de la surface (5) en créant une variation de forme (10) durable et locale sur au moins une couche déformable (7), qui est positionnée entre le substrat (2) et le revêtement réfléchissant (3) et qui présente un alliage à mémoire de forme magnétique. La variation de forme (10) durable et locale est réalisée par application d'un champ électromagnétique, en particulier un champ magnétique (9), sur la couche déformable (7). L'invention concerne également un élément optique réfléchissant (1) comprenant: un substrat (2), un revêtement réfléchissant (3) ainsi qu'au moins une couche déformable (7), disposée entre le substrat (2) et le revêtement réfléchissant (3), présentant un alliage à mémoire de forme magnétique.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)